干渉計用ビームスプリッターと折り返しミラーの選び方

干渉計のセットアップに適したビームスプリッターまたはフォールドミラーを選択するための重要な要素（タイプ、真空対応、アライメント要件など）を学びます。

公開チームXI LANGS Editorial

発行済み2026年10月29日

ページ更新2026年10月29日

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クイックアンサー

必要な分割比（等強度の場合は 50/50 など）に基づいてビームスプリッターを選択するか、ビームを分割せずに方向を変えるフォールドミラーを選択します。真空互換性は、セットアップが真空チャンバー内で動作する場合にのみ選択してください。

ビームスプリッターの種類とその用途

選択するビームスプリッターの種類によって、干渉計の参照光路とテスト光路間でのレーザー光の分割方法が決まります。ほとんどのセットアップでは 50/50 の分割が標準ですが、低反射率サンプルのテストなど、一方の光路により多くの光が必要な場合は、33/67、75/25、または 10/90 の比率が使用されます。

フォールドミラー vs. ビームスプリッター

フォールドミラーは、ビームを分割せずに全体を反射します。障害物を避けて光を迂回させたり、強度を変えずに光路長を調整したりする必要がある場合にフォールドミラーを使用します。ビームスプリッターは分割用、フォールドミラーは方向転換用です。

真空互換性に関する考慮事項

標準のビームスプリッターとフォールドミラーは大気中での使用を想定して設計されています。干渉計が真空チャンバー内で動作する場合は、アウトガスや光学劣化を防ぐために真空互換オプションを選択する必要があります。一般的な実験室での使用では、標準品で十分です。

選択のための判断基準

1. ビームの経路の必要性を判断する： レーザービームを2つの光路に分割する必要がある場合は、ビームスプリッターを選択します。ビームを分割せずに全体の方向を変える必要がある場合は、フォールドミラーを選択します。
2. 分割比を選択する： ほとんどの干渉計測アプリケーションでは、50/50 の分割が理想的です。低反射率表面の測定など、一方の光路により多くの光が必要な場合は、33/67、75/25、または 10/90 を選択します。 選択する前に、干渉計の参照光路とテスト光路の要件を確認してください。
3. 真空互換性を決定する： 真空互換性の「はい」は、干渉計が真空チャンバー内で動作する場合にのみ選択してください。標準的な実験室環境では、「いいえ」（標準）を選択します。

製品情報

ビームスプリッター & フォールドミラー: Zygo ビームスプリッター & フォールドミラー光学系は、フォールドミラー、50/50、33/67、75/25、10/90 のタイプから選択できます。このバリエーションにより、等強度または不均一な分布のいずれであっても、特定の測定ニーズに合わせて分割比を調整できます。

ビームスプリッター & フォールドミラー