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전송 구의 개방 조리개를 테스트해야 하는 가장 큰 광학 장치와 일치시킨 다음, 해당 조리개를 여전히 커버하는 가장 빠른 f-넘버를 선택하십시오. 필요한 측정 불확도에 대해 파면 사양이 충분히 엄격한지 확인하십시오. 마지막으로, 테스트 빔에서 광학 장치를 안전하게 고정하는 데 필요한 마운팅 및 컨버터 액세서리를 확인하십시오.

조리개가 마지막이 아닌 첫 번째 결정인 이유

투과 구의 유효 구경은 전달할 수 있는 테스트 빔의 최대 직경을 결정합니다. 너무 작은 구를 구매하면 더 큰 광학 부품을 전혀 테스트할 수 없습니다. 필요보다 훨씬 큰 구를 구매하면 사용하지 않을 유리와 정렬 복잡성에 비용을 지불하게 됩니다. 먼저 향후 몇 년 동안 테스트할 가장 크고 작은 부품을 나열한 다음, 정렬을 위한 작은 여유를 두고 가장 큰 부품을 커버하는 구경을 선택하십시오.

구경은 또한 테스트 빔의 사용 가능한 양에 영향을 미칩니다. 더 큰 구는 작은 부품을 과도하게 채우는 빔을 생성하여 빛을 낭비하고 잠재적으로 스트레이 반사를 추가할 수 있습니다. 실제로 대부분의 실험실은 작업의 대부분을 커버하는 하나 또는 두 개의 구경 크기를 선택하고 나머지에는 어댑터나 컨버터를 사용합니다.

F-넘버가 측정 가능한 대상을 어떻게 바꾸는가

F-넘버(f/#)는 구면에서 빛의 원뿔이 수렴하거나 발산하는 속도를 나타냅니다. 낮은 F-넘버는 더 가파른 원뿔을 의미하며, 더 강하게 곡면이 진(더 빠른) 표면을 테스트할 수 있게 합니다. 높은 F-넘버는 더 느린 원뿔을 생성하며, 거의 평평하거나 완만하게 곡면이 진 표면에 더 적합합니다. 투과 구면의 F-넘버는 테스트 대상 표면과 호환되어야 합니다. 원뿔이 너무 빠르면 복귀 빔을 정렬하지 못할 수 있고, 너무 느리면 감도가 떨어지거나 조리개가 낭비될 수 있습니다.

주어진 조리개에 대해, 더 빠른 구면은 일반적으로 특정 파면 품질로 제조하기 어렵기 때문에 속도와 달성 가능한 정확도 사이에 균형이 필요합니다. 주로 느린 광학 장치를 작업하는 경우, 동일한 예산으로 더 느리지만 파면 성능이 더 좋은 구면을 사용할 수 있는 경우가 많습니다.

파면 사양: 숫자가 실제로 의미하는 바

투과 구면의 파면 사양은 일반적으로 지정된 파장에서 파동 PV(피크-투-밸리)로 표시됩니다. 1/20 파 PV 구면은 일반적인 고품질 기준이지만, 파장과 테스트 조건을 확인해야 합니다. 구면의 파면 오류는 측정 오류에 직접 추가되므로 전체 오류 예산의 작은 부분이어야 합니다.

더 엄격한 파면 수치가 항상 애플리케이션에 더 좋다고 가정하지 마십시오. 테스트 부품이나 환경에서 더 큰 오류가 발생하는 경우 프리미엄 구면이 최종 결과를 개선하지 못할 수 있습니다. 구면의 파면을 실제로 필요한 불확도에 맞추고 측정이 생산 스크리닝용인지 최종 검증용인지 고려하십시오.

장착 및 액세서리: 사용 가능하게 만드는 부품

전송 구체는 마운트만큼 성능이 좌우됩니다. 마운트는 파면을 왜곡하는 응력을 발생시키지 않으면서 구체를 안전하게 고정해야 합니다. 또한 간섭계와 테스트 부품에 대해 구체를 정확하게 배치해야 합니다. 일부 설정에서는 더 작은 구체를 더 큰 테스트 빔에 맞추기 위해 조리개 변환기가 사용됩니다. 이 변환기에는 수평을 유지하고 정렬 상태를 유지하기 위한 자체 안정적인 스탠드가 필요합니다.

마운트가 기존 간섭계와 호환되는지, 추가 어댑터가 필요한지 확인하십시오. 변환기를 사용할 계획이라면 스탠드가 올바른 방향으로 변환기를 고정하고 결합된 어셈블리가 측정 중에 처지거나 움직이지 않는지 확인하십시오.

전송 구체 선택을 위한 결정 규칙

  • 먼저 조리개를 선택하세요: 가장 큰 테스트 부품을 약간의 여유를 두고 덮을 수 있는 가장 작은 조리개를 선택하세요. 4인치 구는 일반적인 광학 부품을 많이 처리할 수 있습니다. 더 큰 부품을 정기적으로 테스트하는 경우에만 6인치 구로 전환하세요. 확실하지 않다면 4인치 구로 시작하고 필요 시 나중에 컨버터를 추가하세요.
  • f/#를 표면 곡률에 맞추세요: 곡률이 큰 표면에는 빠른 구(낮은 f/#)를 사용하고, 평평한 표면에는 느린 구를 사용하십시오. 콘은 정렬 문제를 피하기 위해 테스트 표면과 일치해야 합니다. 구매 전에 가장 곡률이 큰 테스트 부품의 f/#를 목록화하십시오.
  • 파면 예산: 전체 오류 예산의 작은 부분을 차지하는 파면 사양을 선택하십시오. 1/20 파장 PV 구는 고정밀 작업에 적합한 기본값이지만, 생산 스크리닝에는 필요하지 않을 수 있습니다. 테스트 환경이 노이즈가 많다면 프리미엄 구가 결과를 개선하지 못할 수 있습니다.
  • 장착 및 액세서리: 마운트가 간섭계에 맞고 구에 스트레스를 주지 않고 고정하는지 확인하십시오. 변환기를 사용하는 경우 안정적인 스탠드를 준비하여 수평을 유지하십시오. 마운트 및 변환기 스탠드 비용을 총 비용의 일부로 예산에 포함하십시오.

관련 Zygo 액세서리

  • 4" 전송 구면 F/.75: ZYGO 4" 전송 구면 F/0.75은(는) 1/20 파장 PV로 지정되며 호환되는 ZYGO 간섭계 시스템과 함께 사용하도록 설계되었습니다. 4인치 조리개와 빠른 f/0.75 콘은 상당한 곡률을 가진 소형 및 중형 광학 부품 테스트에 적합하며, 1/20 파장 PV 수치는 까다로운 측정을 위한 높은 기준 품질을 나타냅니다.
  • 6" . f/0.8 전송 구면 , 1/20 W , (6024-0458-13): ZYGO 6" f/0.8 전송 구면(부품 번호 6024-0458-13)은 6인치 전송 구면으로, f/0.8 지정 및 1/20 파장 PVr 사양을 갖추고 있습니다. 더 큰 6인치 조리개는 4인치 구면보다 더 큰 부품을 커버하며, f/0.8 콘은 비교적 빠른 속도를 유지합니다. 1/20 파장 PVr 사양은 측정 불확도를 예산에 반영하는 데 도움이 됩니다.
  • 4" ~ 6" 조리개 변환기 스탠드: ZYGO 4"-6" 조리개 변환기 스탠드는 4"-6" 조리개 변환기를 수평 구성으로 고정하는 액세서리입니다. 변환기를 사용하여 4인치 구를 6인치 빔에 맞추는 경우, 이 스탠드는 변환기를 안정적이고 수평으로 유지하여 반복 가능한 정렬에 필수적입니다.
  • 88 nm 스텝 표준 (ZYGO 인증 포함): 88 nm 스텝 표준 (ZYGO 인증 포함)은 ZYGO 브랜드 스텝 표준으로, SKU 6300-0917-01의 표준 구성으로 공급되며, ZYGO 인증을 포함하고 ISO 17025 인증 실험실과 관련이 있습니다. 인증된 스텝 표준을 사용하면 알려진 기준에 대해 간섭계 및 투과 구 설정의 성능을 검증할 수 있어 추적 가능한 측정을 지원합니다.

어떤 것을 선택해야 하는가

최적 대상

  • 소형 및 중형 광학 부품을 혼합하여 테스트하고 높은 파면 품질을 갖춘 다용도 4인치 구면경이 필요한 실험실.
  • 더 큰 부품을 위해 더 넓은 유효 구경이 필요한 애플리케이션으로, 6인치 f/0.8 구면경이 빔을 덮습니다.
  • 이미 4인치 구면경을 보유하고 있지만 변환기와 안정적인 스탠드를 사용하여 가끔 6인치 범위가 필요한 사용자.

적합하지 않은 경우

  • 6인치를 초과하는 매우 큰 광학 부품 테스트에는 더 큰 투과 구 또는 다른 간섭계 구성이 필요합니다.
  • 구의 콘보다 빠른 매우 빠른 F-넘버를 가진 표면 측정에는 더 빠른 구가 필요합니다.
  • 파면 사양이 덜 엄격한 저비용 구로 충분한 저정밀 생산 스크리닝.