Kurze Antwort
Passen Sie den Strahlaufweiter zuerst an Ihr Hauptgerät an, dann an den benötigten Strahl. Für ein Zygo 633 nm MST-System ist der 24 Zoll High Resolution Beam Expander (BEX) die direkte Passung, da er für alle Hauptgeräte mit 633 nm MST-Auflösung gebaut ist und Rahmen, Abdeckungen und Halterungen umfasst. Wenn Sie nur einen vorhandenen HD- oder DynaFiz-Turm ansteuern müssen, ist die High Resolution Turret Driver Board die einfachere Ersatzteilbeschaffung. Kaufen Sie den Expander nur, wenn Ihre Anforderungen an Apertur und Vergrößerung die größere Baugruppe rechtfertigen.
Beginnen Sie mit dem Hauptgerät, nicht mit der Vergrößerungszahl
Ein Strahlaufweiter ist kein universelles Zubehör. Der Zygo 24 Zoll High Resolution Beam Expander (BEX) ist als kompatibel mit allen MST-Hauptgeräten mit 633 nm Auflösung spezifiziert. Diese Kompatibilitätsangabe ist Ihr erster Filter. Wenn Ihr Hauptgerät kein MST-Auflösungssystem mit 633 nm ist, ist dieser Aufweiter unabhängig von der gewünschten Vergrößerung nicht der richtige Ausgangspunkt.
Die Katalogbeschreibung für den BEX listet einen Aufweiterrahmen mit Abdeckungen, eine Dekollimatorhalterung, eine Kollimatorhalterung, einen großen Faltspiegel, einen kleinen Klappspiegel und eine Zubehörbuchse auf. Dies sind die mechanischen und optischen Teile, die den Aufweiter als System funktionieren lassen. Beachten Sie, was nicht enthalten ist: das Interferometer selbst und anderes Zubehör wie ein Isolationstisch, eine 2-Achsenhalterung oder TF. Planen Sie diese separat ein, falls Sie sie nicht bereits besitzen.
Apertur und Vergrößerung: Was sich tatsächlich ändert
Die Apertur bestimmt den größten Strahl, den der Expander ohne Abschneiden durchlassen kann. Ein 24-Zoll-Expander ist ein System mit großer Apertur, weshalb er hier in die Diskussion über große Apertursysteme gehört, auch wenn er als Ersatzteil verkauft wird. Wenn Ihr Strahl klein und Ihr Hauptrahmen ein kleineres Format ist, erhöht ein 24-Zoll-Expander Kosten und Ausrichtungsaufwand, ohne die Messung zu verbessern.
Vergrößerung ist ein Verhältnis, kein eigenständiger Vorteil. Eine höhere Vergrößerung verringert die Divergenz und verteilt den Strahl über eine größere Fläche, was hilfreich sein kann, wenn Sie eine große Apertur füllen oder eine große Optik testen müssen. Der Nachteil ist, dass die Ausrichtung empfindlicher wird und die Baugruppe mehr Platz benötigt. Die gelieferten Katalogdaten enthalten keinen Vergrößerungswert für den BEX. Behandeln Sie die Vergrößerung daher als Spezifikation, die Sie aus Ihrer Hauptrahmen-Dokumentation bestätigen müssen, anstatt sie anzunehmen. Raten Sie keine Zahl aus dem Produktnamen.
Halterungen, Spiegel und die Teile, die man vergisst
Der BEX umfasst eine Dekollimator-Halterung, eine Kollimator-Halterung, einen großen Faltspiegel, einen kleinen Klappspiegel und eine Zubehörbuchse. Jede dieser Komponenten beeinflusst, wie sich der Expander in Ihren vorhandenen Aufbau integriert. Die Faltspiegel lenken den Strahl, die Dekollimator- und Kollimator-Halterungen halten die Optiken, und die Zubehörbuchse bietet Ihnen einen Platz zur Befestigung zusätzlicher Hardware.
Da das Interferometer, der Isolationstisch, die 2-Achsen-Halterung und das TF nicht enthalten sind, planen Sie den restlichen optischen Pfad vor der Bestellung. Wenn Sie bereits ein Zygo-Hauptgerät und Halterungen besitzen, übernimmt der BEX die Expander-Rolle. Wenn Ihnen das Hauptgerät fehlt, ist dies kein vollständiges Messsystem und sollte nicht als solches behandelt werden.
Ersatzteile, die denselben Aufbau unterstützen
Zwei weitere Zygo-Ersatzteile sind bei der Wartung eines Strahlaufweitungsaufbaus relevant. Die High Resolution Turret Driver Board ist für HD- und DynaFiz-Turret-Systeme unter der Standard-SKU mit dem Teilcode 6450-8171-01 ausgelegt. Wenn Ihr Turret nicht richtig indexiert oder antreibt, ist diese Platine der gezielte Ersatz und nicht ein neuer Expander.
Der Verifire MST Laser und Controller ist unter Ersatzteilen mit der Standard-SKU 6500-0714-01 aufgeführt, und die Beschreibung verweist auf eine Toptica-Laserbaugruppe. Wenn Ihre 633 nm MST-Quelle das Problem ist, behebt der Austausch von Laser und Controller die Quelle, nicht die Strahlaufweitungsoptik. Die Trennung von Quellenfehlern von Expanderfehlern erspart Ihnen den Kauf der falschen Baugruppe.
Entscheidungsregeln für den Kauf eines Strahlaufweiter
- Regel 1: Prüfen Sie die Mainframe-Kompatibilitätslinie: Der BEX ist als kompatibel mit allen MST-Mainframes der Auflösung 633 nm angegeben. Wenn Ihr Mainframe nicht zu dieser Familie gehört, stoppen Sie und identifizieren Sie den richtigen Expander für Ihr System, bevor Sie bestellen. Kompatibilität ist das erste Tor; Vergrößerung ist das zweite.
- Regel 2: Dimensionieren Sie die Apertur auf den Strahl, den Sie tatsächlich verwenden: Ein 24-Zoll-Expander eignet sich für Arbeiten mit großer Apertur. Wenn Ihr Strahl und Ihr Testobjekt klein sind, ist ein kleinerer Expander einfacher auszurichten und kostengünstiger im Besitz. Kaufen Sie keine Apertur, die Sie nie ausfüllen werden.
- Regel 3: Trennen Sie Quellenfehler von Expanderfehlern: Wenn der Strahl schwach oder instabil ist, überprüfen Sie den Verifire MST Laser und die Steuerung, bevor Sie den Expander beschuldigen. Wenn der Revolver nicht fährt, überprüfen Sie die High Resolution Turret Driver Board. Diagnostizieren Sie zuerst das defekte Teilsystem, dann kaufen Sie das passende Ersatzteil.
- Regel 4: Berücksichtigen Sie die nicht im Lieferumfang enthaltenen Teile: Der BEX enthält kein Interferometer, keinen Isolationstisch, keine 2-Achsenhalterung und keinen TF. Fügen Sie diese Ihrer Planung hinzu, falls sie nicht bereits auf Ihrer Werkbank vorhanden sind. Die Gesamtkosten umfassen die unterstützende Hardware rund um den Expander.
Produktdaten
- 24 Zoll High-Resolution Beam Expander (BEX): 24 Zoll High-Resolution Beam Expander (BEX), kompatibel mit allen MST-Hauptplatinen mit 633 nm Auflösung. Enthält Expanderrahmen mit Abdeckungen, Decollimator-Halterung, Kollimator-Halterung, großen Faltspiegel, kleinen Flip-Faltspiegel und Zubehörsteckdose. Wählen Sie diesen Expander, wenn Ihre Hauptplatine ein MST-System mit 633 nm Auflösung ist, da die enthaltenen Halterungen und Spiegel den mechanischen Aufbau abdecken. Interferometer, Isolationstisch, 2-Achsen-Halterung und TF sind nicht enthalten – stellen Sie sicher, dass Sie diese bereits besitzen.
- High-Resolution Turret-Treiberplatine: Die High Resolution Turret Driver Board ist ein Zygo-Ersatzteil für HD- und DynaFiz-Turretsysteme und wird unter der Standard-SKU mit dem Teilcode 6450-8171-01 angeboten. Wenn Ihr HD- oder DynaFiz-Turret das defekte Bauteil ist, ist diese Platine das richtige Ersatzteil. Sie erweitert keinen Strahl und ist daher kein Ersatz für den BEX, wenn es um die Aperturabdeckung geht.
- Verifire MST Laser und Steuerung: Verifire MST Laser und Steuerung, gelistet unter Ersatzteile, Standard-SKU 6500-0714-01, mit der Beschreibung, die sich auf eine Toptica-Laserbaugruppe bezieht. Verwenden Sie dies, wenn die 633 nm MST-Quelle oder die Steuerung defekt ist. Es hält einen funktionierenden Expander in Betrieb, anstatt Optiken zu ersetzen, die nicht das Problem sind.
Wer sollte welches kaufen
Am besten geeignet für
- Besitzer eines Hauptrechners mit 633 nm MST-Auflösung, die einen hochauflösenden Strahlaufweiter mit 24 Zoll benötigen, einschließlich Halterungen und Faltspiegeln.
- Labore, die bereits über ein Interferometer, einen Schwingungsisolierungstisch und eine 2-Achsen-Halterung verfügen und nur die Strahlaufweiter-Baugruppe hinzufügen müssen.
- Benutzer von HD- oder DynaFiz-Türmen, die die High-Resolution-Turret-Treiberplatine als gezieltes Ersatzteil benötigen.
Nicht geeignet für
- Großrechner außerhalb der 633-nm-MST-Auflösungsfamilie, die einen anderen Expander benötigen.
- Käufer, die weder das Interferometer, den Schwingungsisolierungstisch, die 2-Achsen-Halterung noch das TF besitzen und erwarten, dass das BEX ein komplettes System ist.
- Kleinere Strahlaufbauten, bei denen eine 24-Zoll-Blende die Ausrichtung erschwert, ohne einen Messvorteil zu bieten.






