光束擴束器選購指南：孔徑、放大倍率與相容性

實用的光束擴束器購買指南，涵蓋孔徑、放大倍率和適配性。了解如何在購買前將Zygo光束擴束器與您的干涉儀主機匹配。

發布團隊XI LANGS Editorial

發布時間2026年10月16日

頁面更新2026年10月24日

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快速解答

請先將光束擴束器與您的主機匹配，然後再與您所需的光束匹配。對於 Zygo 633 nm MST 系統，24 吋高解析度光束擴束器 (BEX) 是直接適用的選擇，因為它是專為所有解析度 633 nm MST 主機所設計，並包含框架、護蓋和安裝座。如果您只需要驅動現有的 HD 或 DynaFiz 轉塔，高解析度轉塔驅動板是更簡單的備用零件購買選項。只有在您的孔徑和放大需求足以證明需要較大的組件時，才購買擴束器。

從主機開始，而不是從放大倍率數字開始

光束擴展器並非通用配件。Zygo 24 英吋高解析度光束擴展器 (BEX) 被指定與所有 633 nm 解析度 MST 主機相容，因此該相容性聲明是您的首要篩選條件。如果您的機台不是 633 nm 解析度 MST 系統，那麼無論您想要何種放大倍率，此擴展器都不是正確的起點。

BEX 的產品目錄描述列出了帶有蓋子的擴展器框架、一個去準直鏡支架、一個準直鏡支架、一個大型折疊反射鏡、一個小型翻轉折疊反射鏡和一個配件插座。這些是使擴展器作為系統運作的機械和光學部件。請注意未包含的項目：干涉儀本身以及其他配件，例如隔振台、2 軸支架或 TF。如果您尚未擁有這些，請單獨為其編列預算。

孔徑與放大倍率：實際改變的是什麼

孔徑設定擴束器在不截斷情況下能通過的最大光束。24 英吋的擴束器是大型孔徑系統，因此即使在此作為零件販售，仍屬於大型孔徑系統的討論範疇。若您的光束較小且主機為較小格式，24 英吋的擴束器只會增加成本與對齊難度，而不會改善量測。

倍率是一個比例，而非獨立的效益。較高的倍率會縮小發散角並將光束擴散到較大面積，這在需要填滿大型孔徑或測試大型光學元件時可能有所幫助。其代價是對齊變得更加敏感，且組裝佔用更多空間。提供的目錄資訊並未列出 BEX 的倍率值，因此請將倍率視為需從主機文件確認的規格，而非自行假設。請勿從產品名稱猜測數值。

支架、鏡子，以及人們容易忘記的零件

BEX 包含一個去準直儀安裝座、一個準直儀安裝座、一個大型折疊反射鏡、一個小型翻轉折疊反射鏡和一個配件插座。這些元件各自影響擴展器與您現有工作台的整合方式。折疊反射鏡用於引導光束，去準直儀和準直儀安裝座用於固定光學元件，而配件插座則提供您安裝額外硬體的位置。

由於干涉儀、隔離桌、2軸安裝座和 TF 並未包含在內，請在訂購前規劃其餘的光學路徑。如果您已經擁有 Zygo 主機和安裝座，BEX 可填補擴展器的角色。如果您缺少主機，這不是一個完整的量測系統，不應將其視為完整系統。

支援相同設定的備用零件

在維護光束擴展設置時，會出現另外兩個 Zygo 備用零件。高解析度轉塔驅動板專為 HD 和 DynaFiz 轉塔系統設計，標準 SKU 的零件代碼為 6450-8171-01。如果您的轉塔無法正確索引或驅動，此板是針對性的更換品，而非新的擴展器。

Verifire MST 雷射和控制器列於備用零件下，標準 SKU 為 6500-0714-01，描述中提及 Toptica 雷射組件。如果您的 633 nm MST 光源是問題所在，更換雷射和控制器可解決光源問題，而非光束擴展光學元件。區分光源故障與擴展器故障，可避免您購買錯誤的組件。

購買光束擴展器的決策規則

規則 1：確認主機相容性系列： BEX 標示為與所有解析度 633 nm 的 MST 主機相容。如果您的系統不屬於該系列，請先停止並確認適合您系統的正確擴充器，再進行訂購。 相容性是第一道關卡；放大倍率是第二道。
規則 2：根據您實際使用的光束調整孔徑尺寸： 24 英寸的擴束器適合大口徑工作。如果您的光束和測試光學元件較小，較小的擴束器將更容易對齊且擁有成本更低。 不要購買您永遠不會填滿的光圈。
規則 3：區分來源故障與擴束器故障： 如果光束微弱或不穩定，請先檢查 Verifire MST 雷射和控制器，再指責擴束器。如果旋轉台無法驅動，請檢查高解析度旋轉台驅動板。 請先診斷故障的子系統，再購買對應的替換零件。
規則 4：請考慮未包含在盒中的零件： BEX 不包含干涉儀、隔離表、2 軸安裝支架或 TF。如果您的作業台上尚未具備這些項目，請將它們納入您的規劃中。 總成本包含圍繞擴展器的支援硬體。

產品資訊

24 英吋高解析度光束擴束器 (BEX): 24 英吋高解析度光束擴束器 (BEX)，相容於所有 633 nm MST 主機。包含擴束器框架（附蓋板）、去準直鏡安裝座、準直鏡安裝座、大型折疊反射鏡、小型翻轉折疊反射鏡及配件插座。當您的主機為 633 nm MST 解析度系統時，請選擇此擴束器，因為隨附的安裝座和反射鏡涵蓋了機械結構。干涉儀、隔振檯、2 軸安裝座及 TF 未包含在內，請確認您已擁有這些項目。
高解析度轉塔驅動板: 高解析度轉塔驅動板是 Zygo 的備用零件，專為 HD 和 DynaFiz 轉塔系統設計，以標準 SKU 提供，零件代碼為 6450-8171-01。如果您的 HD 或 DynaFiz 轉塔是故障的元件，此板是正確的備用零件。它不會擴展光束，因此當目標是孔徑覆蓋時，它不是 BEX 的替代品。
Verifire MST 雷射與控制器: Verifire MST 雷射與控制器，列於備用零件下，標準 SKU 6500-0714-01，描述參考 Toptica 雷射組件。當 633 nm MST 光源或控制器出現故障時，請使用此產品。它能保持運作中的擴展器，而不是更換並非問題所在的光學元件。