クイックアンサー
Zygo Verifire MST 1.55 µm 干渉計は、4 インチまたは 6 インチのアパーチャ、1X 固定倍率、エンコードフォーカスを備え、精密な表面測定を実現し、生産現場や実験室での信頼性の高い選択肢です。
アパーチャサイズが重要な理由
Verifire MST は、4 インチまたは 6 インチのアパーチャでご利用いただけます。より大きなアパーチャを使用すると、より大きな光学部品や複数の小さな部品を一度に測定できますが、横方向の解像度がわずかに低下する可能性があります。お客様の一般的な部品サイズに基づいてお選びください。
固定倍率 vs. 可変倍率
どちらの構成も 1X 固定倍率を使用します。これによりセットアップが簡素化され、再現性のある測定が保証されますが、小さな特徴を拡大することはできません。倍率を変更する必要がある場合は、別のモデルをご検討ください。
よくある質問
1.55 µm の波長は、私の測定にとってどのような意味がありますか？
1.55 µm の波長は赤外域にあり、周囲光の影響を受けにくく、可視波長で透明または高反射性の表面を測定できます。シリコンウェハやコーティングされた光学部品の測定に特に役立ちます。
エンコードフォーカスはどのように測定の再現性を向上させますか？
エンコードフォーカスはフォーカス位置を自動的に記録するため、複数の測定やセッションにわたってまったく同じフォーカス設定に戻ることができます。これにより、オペレーターに依存するばらつきが排除され、長期的な一貫性が向上します。
後でアパーチャサイズをアップグレードできますか？
アパーチャは干渉計の設計に不可欠であり、現場でのアップグレードはできません。現在および将来予想される部品サイズに基づいて、4 インチまたは 6 インチのバージョンをお選びください。2台目の機器を必要としないようにするためです。機器の稼働率を最大化するために、最も大きな一般的な部品に合ったアパーチャを選択してください。
Verifire MST はどのような種類の部品を測定できますか？
平面および球面の表面向けに設計されており、光学フラット、ミラー、レンズ、プリズムなどが含まれます。1.55 µm の波長により、可視波長では不透明なシリコンやゲルマニウムなどの材料も測定できます。
Verifire MST の校正を維持するにはどうすればよいですか？
Zygo は、認定されたリファレンス標準を使用した年次校正を推奨しています。エンコードフォーカスと固定倍率は校正の安定性を維持するのに役立ちますが、温度や振動などの環境要因も精度に影響します。最良の結果を得るために、年次校正を計画し、測定環境を管理してください。
製品情報
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1.55 µm Verifire MST 干渉計: 4 インチアパーチャ、1X 固定倍率、エンコードフォーカス、1.55 μm 波長。4 インチのアパーチャは、ほとんどの精密光学部品に対して視野と解像度のバランスをとり、エンコードフォーカスは手動によるフォーカスミスを排除します。
1.55 µm Verifire MST 干渉計
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1.55 µm Verifire 干渉計、6 インチアパーチャ: 6 インチアパーチャ、1X 固定倍率、エンコードフォーカスを備えた Verifire MST 構成。6 インチのアパーチャは、より大きな部品や複数のコンポーネントを一度に測定できるため、大量検査のスループットが向上します。
1.55 µm Verifire 干渉計、6 インチアパーチャ
