1.55 µm Verifire MST 간섭계: 주요 기능 설명

Zygo 1.55 µm Verifire MST 간섭계의 주요 기능(조리개 크기, 배율, 초점 옵션)과 이것이 측정 정확도에 미치는 영향을 알아보십시오.

게시 팀XI LANGS Editorial

게시됨2026년 10월 18일

페이지 업데이트2026년 10월 24일

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Zygo 1.55 µm Verifire MST 간섭계는 4인치 또는 6인치 조리개, 1X 고정 배율 및 인코딩된 초점을 통해 정밀한 표면 측정을 제공하여 생산 및 실험실 환경에서 신뢰할 수 있는 선택입니다.

Verifire MST는 4인치 또는 6인치 조리개로 제공됩니다. 더 큰 조리개를 사용하면 더 큰 광학 부품을 측정하거나 여러 개의 작은 부품을 한 번에 측정할 수 있지만, 측면 분해능이 약간 감소할 수 있습니다. 일반적인 부품 크기에 따라 선택하십시오.

두 구성 모두 1X 고정 배율을 사용합니다. 이는 설정을 간소화하고 반복 가능한 측정을 보장하지만, 작은 특징을 확대할 수 없습니다. 작업에 다양한 배율이 필요한 경우 다른 모델을 고려하십시오.

1.55 µm 파장이 측정에 어떤 의미가 있나요?

1.55 µm 파장은 적외선 범위에 있어 주변광에 대한 민감도를 줄이고 가시광선 파장에서 투명하거나 반사율이 높은 표면을 측정할 수 있습니다. 실리콘 웨이퍼 및 코팅된 광학 부품 측정에 특히 유용합니다.

인코딩된 초점이 측정 반복성을 어떻게 개선하나요?

인코딩된 초점은 초점 위치를 자동으로 기록하므로 여러 측정 또는 세션에서 정확히 동일한 초점 설정으로 돌아갈 수 있습니다. 이는 작업자 의존 변동성을 제거하고 장기적인 일관성을 향상시킵니다.

나중에 조리개 크기를 업그레이드할 수 있나요?

조리개는 간섭계 설계에 통합되어 있어 현장에서 업그레이드할 수 없습니다. 현재 및 예상 부품 크기에 따라 4인치 또는 6인치 버전을 선택하여 두 번째 장비가 필요하지 않도록 하십시오. 가장 큰 일반 부품에 맞는 조리개를 선택하여 장비 활용도를 극대화하십시오.

Verifire MST는 어떤 종류의 부품을 측정할 수 있나요?

평면 및 구면 표면용으로 설계되었으며, 광학 평면, 거울, 렌즈 및 프리즘을 포함합니다. 1.55 µm 파장은 가시광선 파장에서 불투명한 실리콘 및 게르마늄과 같은 재료도 측정할 수 있습니다.

Verifire MST의 교정을 어떻게 유지하나요?

Zygo는 인증된 기준 표준을 사용하여 연간 교정을 권장합니다. 인코딩된 초점과 고정 배율은 교정 안정성을 유지하는 데 도움이 되지만, 온도 및 진동과 같은 환경 요인도 정확도에 영향을 미칩니다. 최상의 결과를 위해 연간 교정을 예약하고 측정 환경을 제어하십시오.

1.55 µm Verifire MST 간섭계: 4인치 조리개, 1X 고정 배율, 인코딩된 초점, 1.55 μm 파장. 4인치 조리개는 대부분의 정밀 광학 부품에 대해 시야와 분해능의 균형을 맞추며, 인코딩된 초점은 수동 재초점 오류를 제거합니다.

1.55 µm Verifire MST 간섭계
1.55 µm Verifire 간섭계, 6인치 조리개: 6인치 조리개, Verifire MST 구성, 1X 고정 배율 및 인코딩된 초점. 6인치 조리개는 더 큰 부품 또는 단일 측정에서 여러 구성 요소를 수용하여 대량 검사에서 처리량을 향상시킵니다.

1.55 µm Verifire 간섭계, 6인치 조리개