クイックアンサー
大口径のテストには、被検光学素子の有効径に適合する出力アパーチャを持ち、測定公差を満たす波面品質を備え、干渉計と互換性のある位相シフト方式を採用したビームエキスパンダを選択してください。
アパーチャサイズが最初の決定事項
ビームエキスパンダの出力アパーチャは、少なくとも被検光学素子と同じ大きさでなければなりません。エキスパンダが小さすぎると、ビームがケラレ、回折アーティファクトが発生します。大きすぎると、コストとサイズが増加するだけでメリットはありません。最大のテスト部品の有効径を測定し、アライメント公差を考慮して、通常10〜20%の小さなマージンを追加してください。
波面品質と予算のトレードオフ
高精度干渉計測には、波面誤差がλ/10以下のビームエキスパンダが必要です。低スペックのエキスパンダ（λ/4）は、工場での合否判定テストには許容できますが、絶対精度が制限されます。波面品質とコストのトレードオフを考慮してください。高精度エキスパンダは、標準バージョンの数倍のコストになることがあります。
必要な波面品質が不明な場合は、候補のエキスパンダを使用して、既知の平面参照を最初にテストしてください。測定された誤差により、エキスパンダの寄与が明らかになります。
機械的位相シフトの考慮事項
機械的位相シフト（MPS）は、モーター駆動のステージを使用して参照ミラーを移動し、解析に必要な位相ステップを生成します。これは堅牢で、ほとんどの干渉計で動作しますが、振動の潜在的な原因となり、慎重なキャリブレーションが必要です。
大口径エキスパンダの場合、移動質量が大きくなるため、MPSステージをそれに応じてサイズ設定する必要があります。ZYGO 18" ビームエキスパンダ-機械的位相シフト（SKU 6068-0471-12）はこれを考慮して設計されていますが、干渉計の制御電子機器がMPS駆動電圧とコネクタタイプをサポートしていることを確認してください。
ビームエキスパンダ選択の決定ルール
- ルール1：最大のテスト部品にアパーチャを合わせる： 最大の光学素子の有効径を測定します。出力アパーチャが少なくとも10%大きいビームエキスパンダを選択します。たとえば、最大の部品が16インチの場合、18インチのエキスパンダ（ZYGO 18" モデルなど）で十分なマージンが得られます。 エキスパンダのアパーチャより小さい部品をテストする場合、未使用の容量にコストを費やすことになります。
- ルール2：測定タイプに基づいて波面品質を選択する： 絶対計測（例：参照球面のキャリブレーション）には、λ/10以上を選択します。比較テスト（例：生産ラインの合否判定）には、λ/4で十分なことがよくあります。不明な場合は、エキスパンダの波面仕様を系統誤差の予算項目として使用します。
- ルール3：位相シフトの互換性を確認する： 干渉計がエキスパンダの位相シフト方式をサポートしていることを確認します。機械的位相シフトには、互換性のある駆動インターフェースとソフトウェア制御が必要です。ZYGO 18" ビームエキスパンダは機械的位相シフトを使用します。コントローラがそれを駆動できることを確認してください。 購入前に、干渉計のモデルをメーカーに連絡して互換性を確認してください。
製品の特長
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18" ビームエキスパンダ-機械的位相シフト: ZYGO 18" ビームエキスパンダ-機械的位相シフト（SKU 6068-0471-12）は、大口径干渉計測用の標準的な機械的位相シフト設計を提供します。このエキスパンダは、最大18インチの光学素子のテスト用に特別に設計されており、機械的位相シフタはZYGO干渉計セットアップに直接統合されます。
18" ビームエキスパンダ-機械的位相シフト
このアプローチを使用すべきユーザー
最適な用途
- 大口径テスト（≥12インチ）用に干渉計をセットアップする光学エンジニア
- ビームエキスパンダの仕様を測定の不確かさの予算に合わせる必要がある品質ラボ
適さない用途
- 小型の光学素子（6インチ未満）のみをテストし、機械的位相シフトなしで標準的なビームエキスパンダを使用できるユーザー
