クイックアンサー

SiC精密基準平面をイソプロピルアルコールで洗浄し、安定した面に置き、干渉計のビーム経路に対して垂直に配置します。

校正にSiC精密基準平面が重要な理由

炭化ケイ素（SiC）は高い剛性と熱安定性を備えており、精密基準平面に最適です。直径50 mmは標準的な干渉計マウントに適合し、その平面度は信頼性の高い校正結果を保証します。

避けるべきよくある間違い

光学面を素手で触らないでください。油分が平面度を低下させる可能性があります。表面に圧縮空気を使用しないでください。ゴミが付着する恐れがあります。水シミを防ぐため、マウント前に基準平面が完全に乾いていることを確認してください。

SiC精密基準平面のセットアップ手順

  1. 基準平面の洗浄： イソプロピルアルコールで湿らせた糸くずの出ない布で表面を優しく拭きます。スジを防ぐため、連続した一方向のストロークで拭いてください。 明るい光の下でほこりがないか確認してから次の工程に進みます。
  2. 基準平面の取り付け： SiC基準平面を干渉計のマウントまたはホルダーに挿入します。応力を避けるため、保持リングを均等に締めてください。 締めすぎると基準平面が反る可能性があります。指で締める程度で十分です。
  3. 基準平面の位置合わせ： 基準平面を干渉計のビームに対して垂直に配置します。戻りビームが検出器の中心に来るまでチルトノブを調整します。 正確な中心合わせには、干渉計の位置合わせツールまたはソフトウェアを使用します。
  4. 校正の確認： 校正測定を実行し、結果を基準平面の既知の基準値と比較します。偏差が許容範囲を超える場合は繰り返します。 将来の参照のために測定値を記録します。

製品情報

  • SiC精密基準平面、直径50 mm。: SiC精密基準平面は直径50 mmで、炭化ケイ素製です。そのサイズは標準的な干渉計マウントに適合し、SiC素材は再現性のある校正に優れた熱安定性を提供します。

    SiC Precision Reference Flat, 50 mm diameter.

    SiC精密基準平面、直径50 mm。