Resposta rápida

Um padrão de degrau de 88nm é uma referência física com uma altura de degrau nominal de 88 nanómetros, utilizada para verificar a escala vertical de perfilómetros óticos e instrumentos semelhantes. A certificação Zygo é importante porque liga essa referência a um laboratório certificado ISO 17025, para que as suas decisões de calibração assentem em rastreabilidade documentada em vez de um artefacto não verificado. Se precisar de uma referência vertical rastreável para um perfilómetro Zygo ou comparável, o Padrão de Degrau de 88nm com Certificação ZYGO (SKU 6300-0917-01) é a escolha direta.

O que representa realmente o valor de 88nm?

O valor de 88nm é a altura nominal do degrau do artefacto, não uma tolerância ou uma alegação de precisão. Quando o mede num perfilómetro ótico, o instrumento reporta uma altura de degrau; comparar esse resultado com 88nm indica se a escala vertical está a comportar-se como esperado. Como o degrau é pequeno, é especialmente útil para verificar a resolução e o ruído de fundo na extremidade inferior do alcance do perfilómetro, onde muitas amostras reais se encontram.

Porque é que a certificação Zygo muda a decisão?

Um padrão de degrau é tão bom quanto a sua documentação. O Padrão de Degrau de 88nm com Certificação ZYGO é apresentado com certificação e está associado a um laboratório certificado ISO 17025. Essa associação é a diferença prática: suporta uma cadeia de rastreabilidade que pode citar em registos de qualidade internos ou auditorias de clientes. Sem essa cadeia, está a confiar num número num rótulo; com ela, está a utilizar uma referência que foi caracterizada num contexto laboratorial reconhecido.

Como utiliza um padrão de degrau numa rotina de calibração?

Trate o padrão de degrau como uma verificação numa sequência de verificação mais ampla, não como a calibração completa. Meça o degrau com a mesma objetiva e configurações que utiliza para amostras de produção, registe a altura reportada e compare-a com o valor nominal ao longo do tempo. Uma tendência de deriva ao longo de semanas é mais informativa do que uma única leitura. Se o seu perfilómetro suportar, repita a medição em vários locais do degrau para separar artefactos locais de erros à escala do instrumento.

Quando é que um padrão de altura de degrau é a ferramenta errada?

Os padrões de degrau verificam a escala vertical, não a escala lateral, a planaridade ou o acabamento superficial. Se o seu problema for uma superfície de referência ondulada ou uma esfera de transmissão desalinhada, um degrau de 88nm não o diagnosticará. Da mesma forma, se trabalhar com alturas de degrau muito acima de 88nm, um único degrau baixo pode não exercitar o alcance que realmente utiliza. Nesses casos, combine o padrão de degrau com o plano de referência apropriado ou outros artefactos, em vez de esperar que um único artefacto cubra tudo.

O que deve verificar antes de comprar um padrão de degrau certificado?

Confirme três coisas: a altura nominal do degrau corresponde ao alcance que precisa de verificar, o contexto de certificação está documentado e o fator de forma física se ajusta ao seu estágio e distância de trabalho da objetiva. O Padrão de Degrau de 88nm é fornecido como SKU 6300-0917-01 na configuração Padrão, portanto não há variações de opção para reconciliar. Se a sua configuração exigir uma montagem diferente ou uma altura nominal diferente, isso é um sinal para procurar outros artefactos em vez de forçar este a encaixar.

Como isto se compara com o uso de um plano de referência para calibração?

Um plano de referência e um padrão de degrau respondem a perguntas diferentes. O Plano de Referência de 12 polegadas com refletividade de 4% e figura de superfície lambda/15 PVr é um acessório ótico para aplicações de plano de referência, onde a figura de superfície e a refletividade dominam. O padrão de degrau de 88nm trata da escala vertical num degrau pequeno específico. Se está a construir um kit de calibração, são complementares: o plano ajuda a avaliar o desempenho superficial e interferométrico, enquanto o padrão de degrau verifica a escala de altura que o seu perfilómetro reporta.

Pontos de verificação do FAQ do padrão de degrau

88nm é uma tolerância?

Não. É a altura nominal do degrau do artefacto. O seu valor medido diferirá por alguma quantidade, e essa diferença é o que acompanha ao longo do tempo. Registe o valor nominal e o seu valor medido separadamente para que possa ver a deriva em vez de confundir os dois.

O que acrescenta a certificação Zygo?

Associa o padrão a um laboratório certificado ISO 17025, o que suporta documentação de rastreabilidade para registos de qualidade e auditorias. Mantenha a documentação de certificação com o artefacto para que a cadeia de rastreabilidade permaneça intacta.

Um único padrão de degrau pode cobrir todas as verificações do perfilómetro?

Não. Verifica a escala vertical num degrau pequeno. A escala lateral, a figura de superfície e a refletividade exigem referências diferentes, como um plano de referência. Construa um pequeno kit de referências complementares em vez de depender de um único artefacto.

Factos do produto

  • Padrão de Degrau de 88nm com Certificação ZYGO: O Padrão de Degrau de 88nm com Certificação ZYGO é um padrão de degrau de marca ZYGO fornecido como SKU 6300-0917-01 na configuração Padrão, apresentado com certificação ZYGO e associado a um laboratório certificado ISO 17025. O contexto de certificação dá-lhe um caminho de rastreabilidade documentado para registos de calibração, e a configuração Padrão única significa que não há combinações de opções para verificar antes de encomendar.
  • Plano de Referência de 12 polegadas--4% refletividade, lambda/15, PVr: O Plano de Referência ZYGO de 12 polegadas é um acessório ótico especificado com 4% de refletividade e uma figura de superfície lambda/15 PVr, fornecido como SKU 6068-0454-01 numa única configuração padrão. Aborda a figura de superfície e a refletividade, o que o padrão de degrau não faz, portanto os dois desempenham papéis diferentes num kit de calibração ou referência.