快速解答

若要垂直安裝干涉儀，請使用專用的角度安裝支架和短半徑套件，然後使用傾斜/俯仰支架對準光軸。請依照下列步驟進行，以獲得穩定且可重複的設定。

為什麼垂直安裝很重要

在測試大型或重型光學元件時，垂直安裝至關重要，因為這些元件更容易直立放置。它還能節省工作台空間，並降低水平設定中因重力引起的下垂風險。

專用的垂直工作站套件提供剛性框架，可在測量期間保持干涉儀穩定。若無適當支撐，振動和熱漂移可能會影響結果。

需要考慮的取捨

垂直安裝會改變負載路徑，並可能需要額外的配件，例如用於自動對焦的馬達驅動Z軸。這會增加成本，但可提高生產環境中的重複性。

角度安裝支架必須與干涉儀的介面相容。購買前請檢查與您特定型號的相容性，因為並非所有支架都適用於所有儀器。

逐步安裝流程

  1. 準備工作站： 確保垂直工作站套件放置在穩定且水平的表面上。確認所有螺栓和支架均已按照製造商規格鎖緊。 常見的錯誤是略過水平檢查，這會導致後續的對齊錯誤。
  2. 安裝角度安裝支架： 使用提供的硬體，將角度安裝支架固定到工作站框架上。確認支架方向符合垂直安裝要求。 再次確認支架的額定重量能夠承受您的干涉儀。
  3. 安裝短半徑套件： 將短半徑套件安裝到支架上。如果您有自動化選項，請連接馬達並確保 Z 軸平穩移動。 在連接干涉儀之前，先測試 Z 軸的移動範圍，以避免不必要的負擔。
  4. 安裝干涉儀與傾斜/旋轉支架： 使用帶有卡口介面的傾斜/旋轉支架，將干涉儀安裝到短半徑套件上。正確對齊卡口並鎖定到位。 一個常見的錯誤是強行按壓卡口；它應該平穩地卡入。
  5. 對準光軸： 調整傾斜/旋轉控制，使干涉儀的光軸垂直於測試表面。使用參考鏡或對準目標進行驗證。 如果您看到條紋不直，請重新檢查傾斜/傾斜調整。
  6. 驗證穩定性和重複性： 執行測試量測並檢查漂移。確保設定在所需的量測時間內保持穩定。 如果發生漂移，請檢查是否有鬆動的螺栓或外部振動源。

產品資訊

  • 4" 傾斜/旋轉安裝的卡口介面可安裝於短半徑套件。: ZYGO 4" 傾斜/旋轉安裝配備卡口介面，可安裝於短半徑套件。此安裝可在垂直安裝後對干涉儀進行精確的角度調整，確保光軸垂直於測試表面。

    4" Tip/Tilt mount bayonet interface mounts to Short Radius Kit.

    4" 傾斜/旋轉安裝的卡口介面可安裝於短半徑套件。

  • 角度安裝支架 垂直工作站套件: ZYGO 角度安裝支架垂直工作站套件旨在支援垂直工作站的設定。此支架提供必要的結構介面，以安全地將干涉儀保持在垂直方向，簡化安裝過程。

    Angle Mounting Bracket Vertical Workstation Kit

    角度安裝支架 垂直工作站套件

  • 短半徑套件電動化: 短半徑套件電動化為套件增加了電動Z軸，並需要6500-0165-02。電動Z軸可實現自動對焦調整，對於重複測量或需要遠端操作時非常有用。