使用楔形樣本檢查鍍膜厚度

了解如何使用楔形樣本在沉積過程中驗證光學鍍膜厚度。逐步流程及應避免的常見錯誤。

發布團隊XI LANGS Editorial

發布時間2026年10月19日

頁面更新2026年10月24日

閱讀時間3 分鐘

快速解答

在沉積過程中，將楔形見證樣本放置在您的 coated optics 旁邊，然後測量其傳輸光譜，以在不損壞生產零件的情況下驗證 coating 厚度。

楔形見證樣本的兩個 polished faces 之間有一個小角度（通常為 8 度）。這消除了在平行平面上進行傳輸測量時會出現的干涉條紋。沒有條紋，測量到的光譜直接反映 coating 的效能，使厚度驗證更快、更可靠。

權衡之處在於，您在解讀數據時需要考慮楔角。大多數分光光度計和軟體會自動處理此問題，但如果您使用手動設定，則必須正確輸入角度。

見證樣本應盡可能接近生產 optics 的基板材料。折射率和 thermal expansion 的差異可能會改變 coating 的光學效能和應力。Esco Optics 提供多種折射率和材料選項的楔形見證樣本，每個熔料批次均受控，並提供個別熔料數據以確保可追溯性。

如果您無法匹配確切材料，請使用具有已知且穩定折射率的見證樣本。記錄差異，以便日後可以校正厚度讀數。

1. 將見證樣本裝入 chamber： 將楔形見證樣本放在生產 optics 旁邊的 holder 上。確保 polished faces 乾淨，且楔形面朝向 coating 來源。記錄樣本的熔料批次號碼以確保可追溯性。 常見錯誤：反向裝入樣本（楔形面遠離來源）可能會改變 coating 厚度梯度。
2. 執行 coating 沉積週期： 按計劃沉積 coating。如果位置正確，楔形見證樣本將接收與附近 optics 相同的 coating 厚度。使用石英 crystal monitor 監控過程，以獲得即時厚度回饋。 檢查點：確認見證樣本與生產零件距來源的徑向距離相同，以確保沉積速率相等。
3. 測量傳輸光譜： 沉積完成後，取出見證樣本並將其放入分光光度計中。掃描感興趣波長範圍內的傳輸光譜。楔形設計可防止干涉條紋，因此光譜乾淨且可供分析。 常見錯誤：忘記在軟體中輸入楔角（8°）。這可能導致計算出的厚度出現系統性偏移。
4. 將測量到的光譜與設計目標進行比較： 使用 coating 設計軟體，將測量到的傳輸曲線與目標厚度的理論曲線進行比較。調整模擬厚度，直到曲線匹配。差異即為實際 coating 厚度偏差。 檢查點：如果偏差超過您的容差，請調整下一次運行的沉積時間或速率。記錄校正措施以進行過程控制。