快速解答
如果您需要最高的空間解析度來量測陡峭斜面或微小特徵,請選擇 Verifire HDX;其較大的感測器能捕捉更精細的條紋細節。如果您的工件斜面角度適中,且想要一款經過驗證、具成本效益的高解析度干涉儀,請選擇 Verifire HD。兩者皆採用 Zygo 的擷取與分析平台,因此決策關鍵在於解析度與預算之間的取捨。
Verifire HD 與 HDX 有何不同?
Verifire HD 和 HDX 都是 Zygo 的高解析度干涉儀,但它們在感測器解析度和預期測量範圍上有所不同。HDX 使用更高像素數的檢測器來解析更緊密的條紋圖案,這在測試非球面、自由曲面或具有陡峭局部斜度的光學元件時很重要。HD 提供解析度較低的感測器,但仍優於標準型號,且價格更低。此處未提供任一型號的準確像素數;在做出決定前,請查閱目前的規格表以獲取該數字。
感測器解析度如何影響您可測量的零件
在相同孔徑下使用更多像素,表示每個條紋由更多偵測器元件取樣,因此干涉儀可以捕捉更密集的條紋圖案而不會產生混疊。這直接擴大了單次擷取中可量測的斜率範圍。如果您的工廠定期測試具有高斜率或精細中空間頻率結構的零件,HDX 的額外解析度可減少對拼接或子孔徑拼接的需求。對於較平緩的光學元件,HD 的解析度通常已足夠,並可節省資本用於其他計量需求。
兩種型號的備用零件和長期支援
兩款干涉儀皆仰賴 Zygo 的模組化硬體,且 Verifire 系列共用常見的耗損零件。例如,24 吋高解析度光束擴展器 (BEX) 與所有解析度為 633 nm 的 MST 主機相容,因此可擴展 HD 或 HDX 主機的工作孔徑。高解析度轉塔驅動板是專為 HD 和 DynaFiz 轉塔系統設計的備用零件,這表示 HD 系列中基於轉塔的配置具有已知的更換途徑。在停機事件發生前識別這些零件,可縮短維修週期。
軟體、擷取與抗震性
HDX 通常搭載 Zygo 最新的擷取模式,包括抗振動的 QPSI 擷取模式,讓您無需升級隔離表即可在非理想環境中進行量測。HD 可能根據韌體提供類似的模式,但請在購買時確認確切的軟體套裝。如果您的實驗室已有穩定的隔離表,HD 的擷取套裝通常已足夠。如果您在生產現場或振動源附近進行量測,請優先選擇配備 QPSI 的 HDX。
成本與升級路徑
HDX 的定價高於 HD,反映其先進的感測器與軟體。當解析度能讓您量測原本無法量測的零件時,這項溢價便有其合理性。如果您目前的工作負載主要是球面與輕度非球面,HD 能提供極佳的價值,並保留預算購買如透射球面或參考平面等配件。由於兩款型號共用相同平台,您可以先使用 HD,日後若零件組合改變,再升級更高解析度的主機,並重複使用光學元件與安裝座。
取捨一覽
- 解析度與成本: HDX 擁有更高的像素數,能解析更陡峭的坡度和更細微的特徵,但成本高於 HD。如果您的零件很少挑戰 HD 的解析度,額外的花費可能無法回本。 僅購買您的零件組合所需的解析度。
- 抗震性 vs. 環境: 採用 QPSI 擷取技術的 HDX 更能容忍震動,這可以節省高階隔離桌的成本。HD 可能需要更安靜的設定才能達到類似的結果。 在決定之前,請先測量地板振動。
- 升級路徑 vs. 立即效能: 兩款型號都共用 Zygo 的平台和配件,例如 24 吋 BEX,因此您可以先從 HD 開始,之後再擴充效能。HDX 開箱即提供最大效能。 如果您現在就需要最高解析度,請選擇 HDX;如果您可以分階段投資,HD 是更安全的起點。
產品重點資訊
- 24 吋高解析度光束擴束器(BEX): 24 吋高解析度光束擴束器(BEX)相容於所有解析度 633 nm 的 MST 主機,並包含附蓋擴束器框架、去準直儀安裝座、準直儀安裝座、大型折疊反射鏡、小型翻轉折疊反射鏡及配件插槽。可擴展 Verifire HD 或 HDX 主機的工作孔徑,讓您無需購買新的干涉儀即可測試更大的光學元件。
- 高解析度轉塔驅動板: 高解析度轉塔驅動板是 Zygo 備用零件,專為 HD 和 DynaFiz 轉塔系統設計,以標準 SKU 提供,零件代碼為 6450-8171-01。為基於轉塔的 HD 配置提供已知的更換途徑,降低停機風險。
哪一款 Verifire 適合您?
最適合
- 測量陡峭非球面、自由曲面或具有高斜率區域且需要最大條紋解析度之光學元件的商店。
- 在有振動的生產環境中,QPSI 擷取可減少對新隔離桌的需求。
- 追求最高可用解析度且預算充足、可購買高階干涉儀的實驗室。
不適用於
- 主要處理球面或輕微非球面零件、HD 解析度已足夠且預算有限的工廠。
- 已擁有穩定隔離桌且不需要抗振動擷取的設施。
- 無法從目前資料表確認感測器確切規格,且需要在購買前獲得保證畫素數量的買家。





