溶融シリカ精密平面ミラーの用途

溶融シリカ精密平面ミラーの用途（レーザービームステアリング、紫外分光法、干渉計測など）について学びます。主な利点と制限を理解します。

公開チームXI LANGS Editorial

発行済み2026年10月24日

ページ更新2026年10月24日

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クイックアンサー

溶融石英製の精密平面ミラーは、特にレーザーシステム、UV分光法、干渉計測において、熱安定性と表面精度が重要となる場面で、最小限の歪みで光を方向転換または反射するために使用されます。

なぜ他の基板ではなく溶融石英を選ぶのか？

溶融石英は非常に低い熱膨張率と高い耐熱衝撃性を備えており、温度変動や高出力レーザーを伴う用途に最適です。また、UV領域での透過性に優れているため、UV分光法やエキシマレーザーシステムで好まれます。トレードオフはコストです。溶融石英ミラーは、標準的なガラスやN-BK7代替品よりも高価です。

精密平面ミラーはいつ必要ですか？

波面歪みを最小限に抑える必要がある場合、例えば干渉計測、ビーム拡大、レーザーキャビティアライメントなどでは、1/10波の表面精度を持つ精密平面ミラーが必要です。単純なビームステアリングや投影などの要求が低い用途では、より低コストの市販グレードのミラーで十分な場合があります。

よくある質問

溶融石英製精密平面ミラーの主な用途は何ですか？

主に、最小限の波面歪みでレーザービームやその他の光路を方向転換するために使用されます。一般的な用途には、レーザーキャビティ、ビームステアリング、干渉計測、UV分光法などがあります。

無コートの溶融石英平面ミラーをUV光に使用できますか？

はい、無コートの溶融石英はUVでの透過性が良好ですが、反射率は低くなります（表面あたり約4%）。UVでの高い反射率を得るには、UVエンハンスドアルミニウムコーティング（例：Ravg. > 90%、250-450nm）が推奨されます。部分反射または透過が必要な場合のみ無コートミラーを選択し、それ以外の場合はUVエンハンスドコーティングを指定してください。

レーザー用途にはどの程度の表面精度が必要ですか？

ほとんどのレーザービームステアリングやキャビティミラーでは、1/10波の表面精度（Esco Opticsの溶融石英ミラーで提供）で十分です。非常に高出力またはシングルモードのレーザーの場合は、1/20波以上が必要になる場合があります。ミラーのグレードを選択する前に、レーザーの波面許容差を確認してください。

直径公差は取り付けにどのように影響しますか？

+0/-0.1mmの直径公差により、標準的なミラーマウントに過度な遊びなくしっかりとフィットします。これは光学システムのアライメントを維持するために重要です。互換性を確保するために、マウントのボア径を確認してください。