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표준 10.6 µm 파장에서 CO₂ 레이저 광학 부품을 주로 테스트하는 경우 10.6 µm Verifire 간섭계를 선택하십시오. 두 파장 모두에서 광학 부품을 검증해야 하지만 호환되는 IR 간섭계를 이미 보유하고 있는 경우 이중 대역 3.39 µm / 10.6 µm 투과 평면을 선택하십시오.
광학 부품에 중요한 파장
10.6 µm는 CO₂ 레이저 시스템의 표준 파장이므로, 전용 10.6 µm 간섭계는 해당 광학 부품의 생산 또는 R&D 테스트에 자연스러운 선택입니다. 3.39 µm 설정은 동일한 광학 부품을 테스트하는 데 자주 사용되는데, 이는 ZnSe와 같은 많은 재료가 두 파장 모두에서 투과되지만, 더 짧은 파장이 표면 결함에 대한 더 높은 감도를 제공하기 때문입니다.
연구실에서 CO₂ 레이저만을 주로 사용한다면, 10.6 µm Verifire 간섭계가 목적에 맞는 솔루션을 제공합니다. 설계 검증 또는 승인 테스트를 위해 두 파장 모두에서 광학 부품을 특성화해야 하는 경우, 이중 대역 투과 평면을 사용하면 두 개의 완전한 간섭계를 구매하지 않고도 파장 간 전환이 가능합니다.
조리개 크기 및 테스트 용량
10.6 µm Verifire 간섭계에는 2인치 조리개와 1X 고정 배율이 함께 제공됩니다. 이는 소구경 광학 부품에는 충분하지만, 단일 패스로 더 큰 부품을 테스트하는 능력은 제한됩니다. 이중 대역 투과 평면은 2인치 및 6인치 크기로 제공되므로 부품 크기에 맞게 더 많은 유연성을 제공합니다.
일상적으로 2인치보다 큰 광학 부품을 테스트하는 경우, 6인치 IR TF(3.39 µm / 10.6 µm)를 사용하면 더 넓은 범위의 부품을 다룰 수 있습니다. 단점은 이를 사용하려면 호환되는 IR 간섭계가 필요하다는 것입니다. Verifire가 한 가지 옵션이지만, 투과 평면 자체에는 간섭계 엔진이 포함되어 있지 않습니다.
표면 품질 사양
2인치 및 6인치 이중 대역 투과 평면 모두 150 nm PVr 표면 품질로 지정됩니다. 이는 대부분의 적외선 광학 작업에 실용적인 사양이지만, 서브 100 nm 파면 오차를 요구하는 초정밀 애플리케이션에는 충분히 엄격하지 않을 수 있습니다. Verifire 간섭계의 인코딩된 포커스와 고정 배율은 반복 가능한 측정을 보장하는 데 도움이 되지만, 최종 파면 정확도는 기준 평면과 테스트 설정에 따라 달라집니다.
애플리케이션에서 150 nm PVr보다 더 나은 성능이 필요한 경우, 기준 평면의 인증을 확인하고 더 엄격한 사양의 맞춤형 평면이 필요한지 고려해야 합니다. 카탈로그 평면은 일반 IR 계측을 위한 비용과 성능의 적절한 균형을 제공합니다.
한눈에 보는 장단점
- 10.6 µm Verifire 간섭계(2인치 조리개): 전용 CO₂ 레이저 광학 부품 테스트에 가장 적합합니다. 간섭계 엔진, 인코딩된 포커스 및 고정 1X 배율이 포함됩니다. 2인치 유효 조리개로 제한됩니다. 완벽하고 즉시 사용 가능한 시스템이 필요하고 부품 크기가 ≤2인치인 경우 선택하십시오.
- 6인치 이중 대역 IR TF(3.39 µm / 10.6 µm): 투과 평면만 해당 – 호환되는 IR 간섭계가 필요합니다. 6인치 조리개와 이중 파장 기능을 제공합니다. 150 nm PVr로 지정됩니다. IR 간섭계를 이미 보유하고 있고 더 큰 광학 부품을 테스트하거나 파장 간 전환이 필요한 경우 선택하십시오.
- 2인치 이중 대역 IR TF(3.39 µm / 10.6 µm): 이중 대역 사용을 위한 더 작고 저렴한 투과 평면입니다. 150 nm PVr 사양 및 ZnSe 재질은 6인치 버전과 동일합니다. 4인치 베요넷 마운트를 사용합니다. 부품이 작고 호환되는 간섭계를 이미 보유하고 있는 경우 예산 친화적인 옵션입니다.
제품 정보
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10.6 µm Verifire 간섭계, 2인치 조리개: ZYGO 10.6 μm Verifire 간섭계는 2인치 조리개, 1X 고정 배율 및 인코딩된 포커스를 갖추고 있습니다. 10.6 µm에서 CO₂ 레이저 광학 부품을 테스트하기 위한 완벽한 전용 시스템이지만, 작은 조리개로 인해 한 번에 측정할 수 있는 부품의 크기가 제한됩니다.
10.6 µm Verifire 간섭계, 2인치 조리개
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6인치 IR TF, 3.39um 및 10.6um: ZYGO 6인치 IR TF는 3.39 µm 및 10.6 µm용 이중 대역 투과 평면으로, ZnSe 재질에 150 nm PVr 표면 품질을 갖추고 있습니다. 단일 기준 평면으로 두 파장 모두에서 광학 부품을 테스트할 수 있으며, 더 큰 6인치 조리개는 Verifire의 2인치 조리개보다 더 큰 부품을 수용합니다.
6인치 IR TF, 3.39um 및 10.6um
귀하의 연구실에 맞는 설정은?
최적 대상
- CO₂ 레이저 광학 부품만을 전용으로 테스트하고 2인치 조리개를 갖춘 완벽한 전용 간섭계를 원하는 연구실.
- 이미 IR 간섭계를 보유하고 있으며 3.39 µm 및 10.6 µm 두 파장 모두에서 광학 부품을 검증하기 위해 이중 대역 투과 평면이 필요한 시설.
부적합 대상
- 완전한 간섭계로 단일 패스에서 2인치보다 큰 광학 부품을 테스트해야 하는 사용자 – 더 큰 조리개 시스템이나 기존 간섭계와 함께 사용할 이중 대역 평면을 고려하십시오.
- 서브 100 nm PVr 표면 품질이 필요한 애플리케이션 – 카탈로그 평면은 150 nm PVr로 지정됩니다.
