10.6 µm vs 3.39 µm IR干涉儀：如何選擇

比較 10.6 µm 和 3.39 µm 的紅外線干涉儀，適用於 CO₂ 雷射光學與雙頻測試。了解波長、孔徑和表面品質之間的權衡。

發布團隊XI LANGS Editorial

發布時間2026年10月18日

頁面更新2026年10月24日

閱讀時間4 分鐘

快速解答

如果您主要測試標準 10.6 µm 波長的 CO₂ 雷射光學元件，請選擇 10.6 µm Verifire 干涉儀。如果您需要同時在兩種波長下驗證光學元件，但已擁有相容的紅外線干涉儀，請選擇雙波段 3.39 µm / 10.6 µm 透射平板。

波長對光學元件的重要性

10.6 µm 是 CO₂ 雷射系統的標準波長，因此專用的 10.6 µm 干涉儀是生產或研發測試這些光學元件的自然選擇。3.39 µm 的設置常用於測試相同的光學元件，因為許多材料（如 ZnSe）在兩種波長下都能透射，但較短的波長對表面缺陷有更高的靈敏度。

如果您的實驗室專門處理 CO₂ 雷射，10.6 µm Verifire 干涉儀提供了專用解決方案。如果您需要在設計驗證或驗收測試中同時在兩種波長下表徵光學元件，雙波段透射平板可讓您在兩者之間切換，而無需購買兩台完整的干涉儀。

孔徑尺寸與測試容量

10.6 µm Verifire 干涉儀配備 2 英寸孔徑和 1X 固定放大倍率。這對於小直徑光學元件來說足夠，但會限制您一次性測試較大元件的能力。雙波段透射平板提供 2 英寸和 6 英寸兩種尺寸，讓您在匹配零件尺寸時擁有更多彈性。

如果您經常測試大於 2 英寸的光學元件，6 英寸 IR TF（3.39 µm / 10.6 µm）可讓您涵蓋更廣泛的零件範圍。但代價是您需要一台相容的紅外線干涉儀才能使用它——Verifire 是一個選項，但透射平板本身並不包含干涉儀引擎。

表面品質規格

2 英寸和 6 英寸雙波段透射平板的表面品質規格均為 150 nm PVr。這對於大多數紅外線光學工作來說是實用的規格，但對於要求次 100 nm 波前誤差的超精密應用來說可能不夠嚴格。Verifire 干涉儀的編碼對焦和固定放大倍率有助於確保可重複的測量，但最終的波前精度取決於參考平板和測試設置。

如果您的應用需要優於 150 nm PVr 的精度，您應驗證參考平板的認證，並考慮是否需要規格更嚴格的客製化平板。目錄中的平板在成本與性能之間取得了良好的平衡，適用於一般紅外線計量。

權衡一覽

10.6 µm Verifire 干涉儀（2 英寸孔徑）： 最適合專用於 CO₂ 雷射光學元件測試。包含干涉儀引擎、編碼對焦和固定 1X 放大倍率。僅限 2 英寸清晰孔徑。 如果您需要一套完整、即開即用的系統，且測試零件 ≤2 英寸，請選擇此項。
6 英寸雙波段 IR TF（3.39 µm / 10.6 µm）： 僅透射平板——需要相容的紅外線干涉儀。提供 6 英寸孔徑和雙波長能力。規格為 150 nm PVr。 如果您已擁有紅外線干涉儀，且需要測試較大的光學元件或在波長之間切換，請選擇此項。
2 英寸雙波段 IR TF（3.39 µm / 10.6 µm）： 較小、成本較低的雙波段透射平板。與 6 英寸版本具有相同的 150 nm PVr 規格和 ZnSe 材料。使用 4 英寸卡口式安裝座。 如果您的零件較小且已擁有相容的干涉儀，這是一個預算友善的選項。

產品事實

10.6 µm Verifire 干涉儀，2 英寸孔徑: ZYGO 10.6 μm Verifire 干涉儀具有 2 英寸孔徑、1X 固定放大倍率和編碼對焦。這是一套完整的專用系統，用於在 10.6 µm 下測試 CO₂ 雷射光學元件，但小孔徑限制了您一次可測量的零件尺寸。

10.6 µm Verifire 干涉儀，2 英寸孔徑
6 英寸 IR TF，3.39um 和 10.6um: ZYGO 6 英寸 IR TF 是用於 3.39 µm 和 10.6 µm 的雙波段透射平板，由 ZnSe 製成，表面品質為 150 nm PVr。它讓您可以使用單一參考平板在兩種波長下測試光學元件，且較大的 6 英寸孔徑可容納比 Verifire 的 2 英寸孔徑更大的元件。

6 英寸 IR TF，3.39um 和 10.6um