クイックアンサー
機械式位相シフト用に 12" ビームエキスパンダをセットアップするには、安定したテーブルにエキスパンダを固定し、MUXキューブを位置合わせし、位相シフタを干渉計の参照ビームに合わせて校正します。
機械式位相シフトにおいてセットアップ精度が重要な理由
機械式位相シフトは、参照面の正確で再現性のある動きに依存します。ビームエキスパンダの位置がずれると、特に大口径の場合、波面誤差が生じ、測定精度が低下します。12" ビームエキスパンダは、そのサイズとMUXキューブを支えるために、安定した 4' x 10' x 1' のテーブルを必要とします。
動的位相シフトとは異なり、機械式位相シフトは物理的なステージを使用して参照面を動かします。そのため、エキスパンダマウントの振動や傾きは、位相ステップに直接影響します。コンポーネントの水平出しと固定に時間をかけることで、よりクリーンな干渉縞が得られます。
段階的なセットアップ手順
- 光学テーブルの準備： 4' x 10' x 1' のテーブルエリアを確保します。表面が水平で、振動源がないことを確認します。付属のボルトパターンを使用して、ビームエキスパンダのベースプレートをしっかりと取り付けます。 よくある間違い：小さなテーブルを使用すること。MUXキューブとエキスパンダは、ケーブルの張力や位置ずれを避けるために、十分な設置面積を必要とします。
- MUXキューブの取り付け： MUXキューブをエキスパンダの入力ポートに取り付けます。干渉計からのビームが正しい角度（通常 45 度）で入射するようにキューブを位置合わせします。ロックネジを均等に締めます。 キューブの出力面がエキスパンダの軸と平行であることを確認します。ここでの傾きは、下流全体の位置合わせを狂わせます。
- 干渉計の接続： 干渉計（Verifire、Verifire HD/HDX、またはDynafiz）の出力ビームがMUXキューブに入射するように配置します。干渉計の内蔵アライメントレーザーを使用して、ビームをキューブの入力開口部の中心に合わせます。 ビームが中心からずれていると、エキスパンダが波面をクリッピングし、回折アーチファクトを引き起こします。レーザースポットが中心に来るまで、干渉計の高さと傾きを調整します。
- 機械式位相シフタの位置合わせ： 位相シフトステージを参照フラットマウントに取り付けます。ステージコントローラを干渉計の位相シフトトリガ出力に接続します。短いストロークテスト（例：5 ステップ）を実行し、スムーズで再現性のある動きを確認します。 ステージの固着や不均一は、位相ステップエラーの原因となります。テスト中は、機械的なノイズに耳を傾け、不均一なフリンジの動きに注意してください。
- 位相シフトの校正： 干渉計ソフトウェアの校正ルーチンを使用して、実際の位相ステップサイズを測定します。測定されたステップが目的の値（例：90-バケットアルゴリズムの場合、1ステップあたり 4 度）と一致するまで、ステージの駆動電圧またはステップ数を調整します。 この手順を省略しないでください。機械式ステージは温度によってドリフトします。実験室の温度が 2°C 以上変化した場合は、再校正してください。
- 検証測定の実行： 校正済みの参照フラットをテストビームに配置します。完全な位相シフト測定を実行し、結果を既知の表面形状と比較します。RMS偏差は、干渉計の指定された再現性の範囲内である必要があります。 偏差が大きい場合は、他のコンポーネントのトラブルシューティングを行う前に、ビームエキスパンダの位置合わせと位相シフタの校正を再確認してください。
製品情報
-
12" ビームエキスパンダ - 機械式位相シフト: 機械式位相測定用 12" ビームエキスパンダ。Verifire、Verifire HD/HDX、Dynafiz に対応。MUXキューブ付属（4' x 10' x 1' テーブルが必要）。このエキスパンダは、大口径干渉計での機械式位相シフト用に特別に設計されており、付属のMUXキューブはビームルーティングを簡素化しますが、大きく安定した作業面を必要とします。
12" ビームエキスパンダ - 機械式位相シフト
