快速解答
將 12" 光束擴束器安裝於穩固的光學桌，固定擴束器、對準多工器立方體，並將相位偏移器校準至干涉儀的參考光束，以完成機械式相位偏移設定。
為何機械式相位偏移的安裝精度至關重要
機械式相位偏移依賴參考表面的精確且可重複移動。未對準的光束擴束器會引入波前誤差，降低量測精度，尤其在大孔徑應用中。12" 光束擴束器需要一張 4' x 10' x 1' 的穩定光學桌以支撐其尺寸及多工器立方體。
與動態相位偏移不同，機械式相位偏移使用實體位移平台移動參考面。這意味著擴束器支架的任何振動或傾斜都會直接影響相位步進。花時間調平並固定元件，將能獲得品質更佳的干涉圖。
逐步安裝流程
- 準備光學桌： 清理出 4' x 10' x 1' 的桌面區域。確保表面水平且無振動源。使用提供的螺栓孔位將擴束器底座牢固安裝。 常見錯誤：使用較小的桌面。多工器立方體與擴束器需要完整的佔地面積，以避免線纜拉扯與對位偏差。
- 安裝多工器立方體： 將多工器立方體連接至擴束器的輸入埠。調整立方體角度，使干涉儀光束以正確角度（通常為 45 度）入射。均勻鎖緊固定螺絲。 確認立方體的輸出面與擴束器軸線平行；此處的傾斜將導致後續整個光路對位偏移。
- 連接干涉儀： 將干涉儀（Verifire、Verifire HD/HDX 或 Dynafiz）定位，使其輸出光束進入多工器立方體。使用干涉儀內建的對位雷射將光束對準立方體的輸入孔徑中心。 若光束偏移中心，擴束器將截斷波前，產生繞射假影。調整干涉儀的高度與傾斜度，直到雷射光點位於中心。
- 對準機械式相位偏移器： 將相位偏移平台安裝至參考平面固定座上。將平台控制器連接至干涉儀的相位偏移觸發輸出。執行短行程測試（例如 5 步），確認運動平順且可重複。 卡滯或不均勻的平台會產生相位步進誤差。測試時請聆聽機械噪音，並觀察條紋運動是否均勻。
- 校準相位偏移： 使用干涉儀軟體的校準功能量測實際相位步進大小。調整平台驅動電壓或步數，直到量測步進符合預期值（例如 90 度/步，適用於 4 桶演算法）。 切勿跳過此步驟：機械平台會隨溫度漂移。若實驗室溫度變化超過 2°C，請重新校準。
- 執行驗證量測： 將已校準的參考平面置於測試光束中。執行完整的相位偏移量測，並將結果與已知的表面形貌進行比對。RMS 偏差應在干涉儀指定的重複性範圍內。 若偏差過大，請先重新檢查擴束器對位與相位偏移器校準，再排查其他元件。
產品資訊
-
12" 光束擴束器 - 機械式相位偏移: 12" 光束擴束器，適用於機械式相位量測。相容於 Verifire、Verifire HD/HDX 及 Dynafiz。包含多工器立方體（需 4' x 10' x 1' 光學桌）。此擴束器專為大孔徑干涉儀的機械式相位偏移設計，隨附的多工器立方體簡化了光束路徑，但需要大且穩固的工作檯面。
12" 光束擴束器 - 機械式相位偏移
