Kurze Antwort
Ein lateraler Kalibrierstandard ist ein physisches Artefakt mit bekannten Abmessungen, das zur Überprüfung der lateralen (X-Y) Messgenauigkeit eines optischen Profilers oder Interferometers verwendet wird. Der Zygo Lateral Calibration Standard bietet eine einfache, nicht zertifizierte Referenz für routinemäßige Maßstabsprüfungen.
Warum laterale Kalibrierung wichtig ist
Laterale Messungen – Abstände und Positionen in der Probenebene – sind in der Oberflächenmesstechnik genauso kritisch wie vertikale (Z) Messungen. Ohne eine zuverlässige laterale Referenz kann selbst ein gut ausgerichtetes Interferometer irreführende Merkmalsgrößen, Teilungsfehler oder verzerrte Oberflächenkarten erzeugen.
Ein lateraler Kalibrierstandard liefert Ihnen ein bekanntes Muster (z. B. einen Millimeterstab), um zu überprüfen, ob der XY-Tisch und das Bildgebungssystem Ihres Instruments die korrekten Abstände melden. Die regelmäßige Verwendung erkennt Drift, Tischspiel oder Pixelskalierungsfehler, bevor sie Ihre Daten beeinträchtigen.
Was der Zygo Lateral Calibration Standard enthält
Der Zygo Lateral Calibration Standard ist ein einfacher, nicht zertifizierter Objektträger, der mit einem Millimeterstab bedruckt ist. Er ist für die schnelle, alltägliche Überprüfung konzipiert und nicht für eine formelle rückführbare Kalibrierung. Da ihm ein Zertifikat fehlt, eignet er sich am besten für interne Konsistenzprüfungen und die Schulung von Bedienern, nicht für Audits, die eine dokumentierte Rückführbarkeit erfordern.
Diagnose lateraler Messfehler
- Symptom: Gemessene Merkmalsbreiten oder -abstände stimmen nicht mit den erwarteten Werten überein; Oberflächenkarten zeigen eine konsistente Dehnung oder Stauchung in eine Richtung.
- Wahrscheinliche Ursache: Falsche Pixelskalierung, Drift der Tischkalibrierung oder optischer Vergrößerungsfehler. Die XY-Messkette hat ihre Referenz verloren.
- Korrekturmaßnahme: Legen Sie den Zygo Lateral Calibration Standard auf den Tisch, fokussieren Sie auf den Millimeterstab und messen Sie ein bekanntes Intervall (z. B. 1 mm). Vergleichen Sie den gemessenen Wert mit dem erwarteten Wert. Wenn der Fehler Ihre akzeptable Toleranz überschreitet, passen Sie den lateralen Kalibrierfaktor des Instruments in MetroPro an oder kontaktieren Sie den Zygo-Support. Notieren Sie den gemessenen Fehler und das Datum. Wiederholen Sie dies wöchentlich, um Drift zu verfolgen.
- Wann Sie aufhören oder eine andere Option wählen sollten: Wenn Ihre Anwendung eine ISO 17025-Rückführbarkeit oder ein dokumentiertes Kalibrierzertifikat erfordert, ist der nicht zertifizierte Zygo Lateral Calibration Standard nicht ausreichend. Verwenden Sie in diesem Fall einen zertifizierten lateralen Standard mit einem rückführbaren Kalibrierbericht. Für eine auditfähige Rückführbarkeit investieren Sie in einen zertifizierten Standard und bewahren Sie das Kalibrierzertifikat in Ihren Unterlagen auf.
Produktfakten
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Lateraler Kalibrierstandard: Der ZYGO Lateral Calibration Standard ist ein einfacher, nicht zertifizierter Objektträger, der mit einem Millimeterstab bedruckt ist. Er bietet eine einfache, wiederholbare Referenz zur Überprüfung der lateralen Maßstabsgenauigkeit an Zygo-Instrumenten, ersetzt jedoch keinen formellen Kalibrierstandard für Compliance-Zwecke, da er nicht zertifiziert ist.
Lateraler Kalibrierstandard
