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Um padrão de calibração lateral é um artefacto físico com dimensões conhecidas utilizado para verificar a precisão da medição lateral (X-Y) de um perfilador ótico ou interferómetro. O Padrão de Calibração Lateral Zygo fornece uma referência simples e não certificada para verificações de escala de rotina.
Porque é que a calibração lateral é importante
As medições laterais — distâncias e posições no plano da amostra — são tão críticas quanto as medições verticais (Z) na metrologia de superfícies. Sem uma referência lateral fiável, mesmo um interferómetro bem alinhado pode produzir tamanhos de características enganosos, erros de passo ou mapas de superfície distorcidos.
Um padrão de calibração lateral fornece-lhe um padrão conhecido (como uma régua milimétrica) para verificar se o estágio XY e o sistema de imagem do seu instrumento reportam as distâncias corretas. O uso regular deteta deriva, folga no estágio ou erros de escalonamento de píxeis antes que afetem os seus dados.
O que o Padrão de Calibração Lateral Zygo inclui
O Padrão de Calibração Lateral Zygo é uma lâmina de microscópio básica e não certificada, impressa com uma régua milimétrica. Foi concebido para verificação rápida e diária, em vez de calibração formal rastreável. Como não tem certificado, é mais adequado para verificações de consistência internas e formação de operadores, não para auditorias que exijam rastreabilidade documentada.
Diagnosticar erros de medição lateral
- Sintoma: As larguras ou distâncias das características medidas não correspondem aos valores esperados; os mapas de superfície mostram estiramento ou compressão consistente numa direção.
- Causa provável: Escalonamento de píxeis incorreto, deriva na calibração do estágio ou erro de ampliação ótica. A cadeia de medição XY perdeu a sua referência.
- Ação corretiva: Coloque o Padrão de Calibração Lateral Zygo no estágio, foque na régua milimétrica e meça um intervalo conhecido (por exemplo, 1 mm). Compare o valor medido com o valor esperado. Se o erro exceder a sua tolerância aceitável, ajuste o fator de calibração lateral do instrumento no MetroPro ou contacte o suporte da Zygo. Registe o erro medido e a data. Repita semanalmente para acompanhar a deriva.
- Quando parar ou escolher outra opção: Se a sua aplicação exigir rastreabilidade ISO 17025 ou um certificado de calibração documentado, o Padrão de Calibração Lateral Zygo não certificado não é suficiente. Nesse caso, utilize um padrão lateral certificado com um relatório de calibração rastreável. Para rastreabilidade de nível de auditoria, invista num padrão certificado e mantenha o certificado de calibração arquivado.
Factos do produto
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Padrão de Calibração Lateral: O Padrão de Calibração Lateral ZYGO é uma lâmina de microscópio básica e não certificada, impressa com uma régua milimétrica. Fornece uma referência simples e repetível para verificar a precisão da escala lateral em instrumentos Zygo, mas como não é certificado, não substitui um padrão de calibração formal para fins de conformidade.
Padrão de Calibração Lateral
