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Un patrón de calibración lateral es un artefacto físico con dimensiones conocidas que se utiliza para verificar la precisión de la medición lateral (X-Y) de un perfilador óptico o interferómetro. El patrón de calibración lateral de Zygo proporciona una referencia simple y no certificada para comprobaciones rutinarias de escala.
Por qué es importante la calibración lateral
Las mediciones laterales (distancias y posiciones en el plano de la muestra) son tan críticas como las mediciones verticales (Z) en la metrología de superficies. Sin una referencia lateral fiable, incluso un interferómetro bien alineado puede producir tamaños de características engañosos, errores de paso o mapas de superficie distorsionados.
Un patrón de calibración lateral le proporciona un patrón conocido (como una regla milimétrica) para comprobar que la platina XY y el sistema de imagen de su instrumento informan de las distancias correctas. El uso regular detecta la deriva, el juego de la platina o los errores de escalado de píxeles antes de que afecten a sus datos.
Qué incluye el patrón de calibración lateral de Zygo
El patrón de calibración lateral de Zygo es un portaobjetos de microscopio básico y no certificado, impreso con una regla milimétrica. Está diseñado para una verificación rápida y cotidiana, no para una calibración formal trazable. Al carecer de un certificado, es más adecuado para comprobaciones de consistencia internas y formación de operadores, no para auditorías que requieran trazabilidad documentada.
Diagnóstico de errores de medición lateral
- Síntoma: Los anchos o distancias de las características medidas no coinciden con los valores esperados; los mapas de superficie muestran un estiramiento o compresión consistente en una dirección.
- Causa probable: Escalado de píxeles incorrecto, deriva de la calibración de la platina o error de aumento óptico. La cadena de medición XY ha perdido su referencia.
- Acción correctiva: Coloque el patrón de calibración lateral de Zygo en la platina, enfoque la regla milimétrica y mida un intervalo conocido (por ejemplo, 1 mm). Compare el valor medido con el valor esperado. Si el error supera su tolerancia aceptable, ajuste el factor de calibración lateral del instrumento en MetroPro o póngase en contacto con el soporte de Zygo. Registre el error medido y la fecha. Repita semanalmente para realizar un seguimiento de la deriva.
- Cuándo detenerse o elegir otra opción: Si su aplicación requiere trazabilidad ISO 17025 o un certificado de calibración documentado, el patrón de calibración lateral no certificado de Zygo no es suficiente. En ese caso, utilice un patrón lateral certificado con un informe de calibración trazable. Para una trazabilidad de nivel de auditoría, invierta en un patrón certificado y conserve el certificado de calibración en el archivo.
Datos del producto
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Patrón de calibración lateral: El patrón de calibración lateral de ZYGO es un portaobjetos de microscopio básico y no certificado, impreso con una regla milimétrica. Proporciona una referencia simple y repetible para verificar la precisión de la escala lateral en los instrumentos Zygo, pero debido a que no está certificado, no reemplaza un patrón de calibración formal para fines de cumplimiento.
Patrón de calibración lateral
