Risposta rapida
Uno standard di calibrazione laterale è un artefatto fisico con dimensioni note utilizzato per verificare l'accuratezza delle misure laterali (X-Y) di un profilatore ottico o interferometro. Lo standard di calibrazione laterale Zygo fornisce un semplice riferimento non certificato per controlli di scala di routine.
Perché la calibrazione laterale è importante
Le misure laterali — distanze e posizioni nel piano del campione — sono altrettanto critiche delle misure verticali (Z) nella metrologia di superficie. Senza un riferimento laterale affidabile, anche un interferometro ben allineato può produrre dimensioni di caratteristiche fuorvianti, errori di passo o mappe di superficie distorte.
Uno standard di calibrazione laterale ti fornisce un pattern noto (come un righello millimetrico) per verificare che lo stadio XY e il sistema di imaging del tuo strumento riportino le distanze corrette. L'uso regolare rileva la deriva, il backlash dello stadio o gli errori di scala dei pixel prima che influenzino i tuoi dati.
Cosa include lo standard di calibrazione laterale Zygo
Lo standard di calibrazione laterale Zygo è un semplice vetrino da microscopio non certificato stampato con un righello millimetrico. È progettato per una verifica rapida e quotidiana, non per una calibrazione formale tracciabile. Poiché manca di un certificato, è più adatto per controlli di coerenza interni e formazione degli operatori, non per audit che richiedono tracciabilità documentata.
Diagnosi degli errori di misura laterale
- Sintomo: Le larghezze o le distanze delle caratteristiche misurate non corrispondono ai valori attesi; le mappe di superficie mostrano un allungamento o una compressione costante in una direzione.
- Causa probabile: Scala dei pixel errata, deriva della calibrazione dello stadio o errore di ingrandimento ottico. La catena di misura XY ha perso il suo riferimento.
- Azione correttiva: Posiziona lo standard di calibrazione laterale Zygo sullo stadio, metti a fuoco il righello millimetrico e misura un intervallo noto (ad es. 1 mm). Confronta il valore misurato con il valore atteso. Se l'errore supera la tua tolleranza accettabile, regola il fattore di calibrazione laterale dello strumento in MetroPro o contatta il supporto Zygo. Registra l'errore misurato e la data. Ripeti settimanalmente per monitorare la deriva.
- Quando fermarsi o scegliere un'altra opzione: Se la tua applicazione richiede tracciabilità ISO 17025 o un certificato di calibrazione documentato, lo standard di calibrazione laterale Zygo non certificato non è sufficiente. In tal caso, utilizza uno standard laterale certificato con un rapporto di calibrazione tracciabile. Per una tracciabilità di livello audit, investi in uno standard certificato e conserva il certificato di calibrazione agli atti.
Fatti sul prodotto
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Standard di calibrazione laterale: Lo standard di calibrazione laterale ZYGO è un semplice vetrino da microscopio non certificato stampato con un righello millimetrico. Fornisce un riferimento semplice e ripetibile per verificare l'accuratezza della scala laterale sugli strumenti Zygo, ma poiché non è certificato, non sostituisce uno standard di calibrazione formale per scopi di conformità.
Standard di calibrazione laterale
