クイックアンサー
横方向校正標準器とは、光学プロファイラや干渉計の横方向（X-Y）測定精度を検証するために使用される、既知の寸法を持つ物理的な人工物です。Zygo 横方向校正標準器は、日常的なスケールチェックのためのシンプルで非認証のリファレンスを提供します。
横方向校正が重要な理由
表面測定において、横方向の測定（試料面内の距離や位置）は垂直方向（Z）の測定と同様に重要です。信頼性の高い横方向の基準がなければ、適切に調整された干渉計でも、誤った特徴サイズ、ピッチ誤差、または歪んだ表面マップを生成する可能性があります。
横方向校正標準器を使用すると、既知のパターン（ミリメートル定規など）を使って、装置のXYステージとイメージングシステムが正しい距離を報告しているかを確認できます。定期的に使用することで、データに影響を与える前に、ドリフト、ステージのバックラッシュ、ピクセルスケーリングエラーを検出できます。
Zygo 横方向校正標準器の内容
Zygo 横方向校正標準器は、ミリメートル定規が印刷された基本的な非認証の顕微鏡スライドです。正式なトレーサブル校正ではなく、迅速な日常検証用に設計されています。証明書がないため、監査で文書化されたトレーサビリティが必要な場合ではなく、社内の一貫性チェックやオペレーターのトレーニングに最適です。
横方向測定エラーの診断
- 症状： 測定された特徴の幅や距離が期待値と一致しない。表面マップに一方向への一貫した伸びや圧縮が見られる。
- 考えられる原因： 誤ったピクセルスケーリング、ステージ校正のドリフト、または光学倍率の誤差。XY測定チェーンが基準を失っています。
- 是正措置： Zygo 横方向校正標準器をステージに置き、ミリメートル定規に焦点を合わせ、既知の間隔（例：1 mm）を測定します。測定値を期待値と比較します。誤差が許容範囲を超える場合は、MetroProで装置の横方向校正係数を調整するか、Zygoサポートに連絡してください。 測定誤差と日付を記録します。ドリフトを追跡するために毎週繰り返します。
- 中止または別のオプションを選択する場合： アプリケーションでISO 17025 トレーサビリティまたは文書化された校正証明書が必要な場合、非認証のZygo横方向校正標準器では不十分です。その場合は、トレーサブルな校正レポートが付属する認証済み横方向標準器を使用してください。 監査レベルのトレーサビリティのためには、認証済み標準器に投資し、校正証明書をファイルに保管してください。
製品情報
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横方向校正標準器: ZYGO 横方向校正標準器は、ミリメートル定規が印刷された基本的な非認証の顕微鏡スライドです。Zygo機器の横方向スケール精度を検証するためのシンプルで再現性のあるリファレンスを提供しますが、認証されていないため、コンプライアンス目的での正式な校正標準器の代わりにはなりません。
横方向校正標準器
