Réponse rapide

La plupart des dérives des profilomètres optiques sont liées à l'environnement ou à la configuration, et non à un instrument défectueux. Commencez par vérifier les vibrations, la température et la stabilité de l'échantillon avant de toucher à l'étalonnage. Si les lectures dérivent toujours après avoir contrôlé ces facteurs, réétalonnez avec un étalon en escalier certifié et vérifiez le mouvement de la platine.

Vérification des symptômes : s'agit-il d'une dérive ou d'un décalage ponctuel ?

La dérive signifie que les lectures changent au fil du temps sans modification délibérée de l'échantillon ou de la configuration. Un décalage ponctuel reste constant lors de mesures répétées. Avant d'ajuster quoi que ce soit, mesurez le même échantillon stable trois fois sur 10 minutes. Si les valeurs varient, il s'agit d'une dérive. Si elles sont systématiquement décalées de la même quantité, il s'agit d'un décalage que l'étalonnage peut corriger.

Cause probable 1 : Vibrations et bruit acoustique

Les profilomètres optiques sont des instruments interférométriques. Les vibrations du sol, les pompes à proximité ou même un système CVC bruyant peuvent déplacer les franges et faire dériver les lectures de hauteur. C'est l'un des problèmes de vibration les plus courants des profilomètres. Déplacez le système dans un endroit plus calme ou ajoutez une table d'isolation. Si vous avez déjà une isolation, vérifiez qu'elle est de niveau et que les isolateurs sont correctement gonflés.

Cause probable 2 : Changements thermiques dans la pièce ou sur l'échantillon

Un changement de 1°C dans la pièce peut déplacer suffisamment les pièces métalliques pour être enregistré comme une dérive sur un profilomètre haute résolution. Laissez l'instrument et l'échantillon se stabiliser pendant au moins une heure après tout changement de température. Évitez de placer le profilomètre près des fenêtres, des portes ou des équipements qui s'allument et s'éteignent. Pour les mesures critiques, enregistrez la température de la pièce avec vos données.

Cause probable 3 : Mouvement de la platine ou fixation desserrée

Si la dérive n'apparaît que lorsque vous déplacez la platine, le problème est mécanique. Vérifiez que l'échantillon est fermement serré et que la platine ne se bloque pas. Sur les systèmes à axes motorisés, une platine usée ou désalignée peut provoquer une dérive répétitive dans une direction. Le kit de mouvement d'axe NewView 1 fournit un Z motorisé avec réglage manuel XYRP. Si votre configuration utilise un XY manuel, vérifiez que ces verrous sont serrés avant de blâmer l'électronique.

Action corrective : Réétalonnez avec un étalon certifié

Lorsque l'environnement et la fixation sont exclus, réétalonnez à l'aide d'un étalon en escalier certifié. L'étalon en escalier de 88 nm avec certification ZYGO est fourni sous le SKU 6300-0917-01 et est associé à un laboratoire certifié ISO 17025, ce qui signifie que sa valeur déclarée est traçable. Suivez la procédure d'étalonnage de votre système et comparez la hauteur de marche mesurée à la valeur certifiée. Si l'erreur est dans votre tolérance de processus, vous avez terminé.

Quand s'arrêter et appeler le service

Arrêtez les réglages et contactez le service Zygo si la dérive persiste après avoir contrôlé les vibrations, la température et la fixation, et après un étalonnage réussi avec un étalon certifié. Arrêtez également si vous observez des sauts soudains supérieurs à votre incertitude d'étalonnage, ou si l'instrument signale des erreurs matérielles. Réétalonner à plusieurs reprises un système qui dérive peut masquer un composant défaillant et faire perdre du temps.

Flux de diagnostic de la dérive

  • Symptôme : Les lectures varient sur plusieurs minutes : Vérifiez d'abord les vibrations et les changements thermiques. Mesurez le même échantillon trois fois sur 10 minutes pour confirmer la dérive. Si c'est stable, le problème est un décalage, pas une dérive.
  • Symptôme : Dérive uniquement lors du déplacement de la platine : Inspectez le serrage de l'échantillon et les verrous de la platine. Sur les systèmes NewView 8000/9000, vérifiez que les réglages Z et XYRP du kit de mouvement ne glissent pas. Si la platine est serrée, le problème est probablement environnemental.
  • Symptôme : La dérive persiste après avoir contrôlé l'environnement et la fixation : Réétalonnez avec un étalon en escalier certifié tel que l'étalon en escalier de 88 nm avec certification ZYGO. Comparez la valeur mesurée à la valeur certifiée. Si la dérive persiste après un étalonnage valide, arrêtez-vous et contactez le service Zygo.

Faits produit importants pour le diagnostic de la dérive

  • Étalon en escalier de 88 nm avec certification ZYGO: L'étalon en escalier de 88 nm avec certification ZYGO est fourni sous le SKU 6300-0917-01 dans la configuration standard et est associé à un laboratoire certifié ISO 17025. Un étalon en escalier traçable vous permet de séparer la dérive réelle d'un décalage d'étalonnage et vous donne une référence défendable lors du dépannage.
  • Kit de mouvement d'axe NewView 1: Le kit de mouvement d'axe NewView 1 est un accessoire ZYGO pour la plateforme NewView 8000/9000. Il fournit un axe de mouvement avec Z motorisé et réglage manuel XYRP. Si la dérive n'apparaît que pendant les mouvements de la platine, le Z motorisé et le réglage manuel XYRP de ce kit vous aident à isoler si le problème vient du système de mouvement ou de l'optique.