Snel antwoord

De meeste drift bij optische profielmeters is omgevings- of opstellingsgerelateerd, niet een defect instrument. Begin met het controleren van trillingen, temperatuur en stabiliteit van het monster voordat u de kalibratie aanraakt. Als de metingen na het onder controle brengen van deze factoren nog steeds driften, kalibreer dan opnieuw met een gecertificeerde stapstandaard en controleer de beweging van het podium.

Symptoomcontrole: is het drift of een eenmalige offset?

Drift betekent dat metingen in de loop van de tijd veranderen zonder een bewuste wijziging in het monster of de opstelling. Een eenmalige offset blijft constant bij herhaalde metingen. Voordat u iets aanpast, meet u hetzelfde stabiele monster drie keer over 10 minuten. Als de waarden afdwalen, heeft u te maken met drift. Als ze consequent met hetzelfde bedrag afwijken, heeft u een offset die met kalibratie kan worden opgelost.

Waarschijnlijke oorzaak 1: trillingen en geluidsruis

Optische profielmeters zijn interferometrische instrumenten. Trillingen van de vloer, nabijgelegen pompen of zelfs luidruchtige HVAC kunnen interferentieranden verschuiven en hoogtemetingen laten driften. Dit is een van de meest voorkomende problemen met trillingen bij profielmeters. Verplaats het systeem naar een stillere locatie of voeg een isolatietafel toe. Als u al isolatie heeft, controleer dan dat deze waterpas staat en dat de isolatoren correct zijn opgeblazen.

Waarschijnlijke oorzaak 2: thermische veranderingen in de ruimte of het monster

Een temperatuurverandering van 1°C in de ruimte kan metalen onderdelen genoeg laten uitzetten of krimpen om als drift te worden geregistreerd op een hogeresolutieprofielmeter. Laat het instrument en het monster na elke temperatuurverandering ten minste een uur stabiliseren. Plaats de profielmeter niet in de buurt van ramen, deuropeningen of apparatuur die aan en uit gaat. Noteer bij kritieke metingen de kamertemperatuur samen met uw gegevens.

Waarschijnlijke oorzaak 3: podiumbeweging of losse bevestiging

Als drift alleen optreedt wanneer u het podium beweegt, is het probleem mechanisch. Controleer of het monster stevig is geklemd en dat het podium niet klemt. Bij systemen met gemotoriseerde assen kan een versleten of verkeerd uitgelijnd podium herhaalbare drift in één richting veroorzaken. De NewView 1 asbewegingskit biedt gemotoriseerde Z met handmatige XYRP-aanpassing, dus als uw opstelling handmatige XY gebruikt, controleer dan dat die vergrendelingen strak zitten voordat u de elektronica de schuld geeft.

Corrigerende maatregel: herkalibreer met een gecertificeerde standaard

Wanneer omgeving en bevestiging zijn uitgesloten, kalibreer dan opnieuw met een gecertificeerde stapstandaard. De 88nm Step Standard met ZYGO-certificering wordt geleverd als SKU 6300-0917-01 en is geassocieerd met een ISO 17025 gecertificeerd laboratorium, wat betekent dat de gerapporteerde waarde traceerbaar is. Volg de kalibratieprocedure van uw systeem en vergelijk de gemeten staphoogte met de gecertificeerde waarde. Als de fout binnen uw procestolerantie ligt, bent u klaar.

Wanneer stoppen en service bellen

Stop met aanpassen en neem contact op met de Zygo-service als drift aanhoudt nadat u trillingen, temperatuur en bevestiging onder controle heeft gebracht, en na een succesvolle kalibratie met een gecertificeerde standaard. Stop ook als u plotselinge sprongen ziet die groter zijn dan uw kalibratie-onzekerheid, of als het instrument hardwarefouten meldt. Herhaaldelijk herkalibreren van een driftsysteem kan een defect onderdeel maskeren en tijd verspillen.

Driftdiagnosestroom

  • Symptoom: metingen dwalen over minuten af: Controleer eerst op trillingen en thermische veranderingen. Meet hetzelfde monster drie keer over 10 minuten om drift te bevestigen. Als het stabiel is, is het probleem een offset, geen drift.
  • Symptoom: drift alleen bij het bewegen van het podium: Inspecteer de monsternameklem en podiumvergrendelingen. Controleer bij NewView 8000/9000 systemen of de Z- en XYRP-aanpassingen van de bewegingskit niet slippen. Als het podium strak zit, is het probleem waarschijnlijk omgevingsgerelateerd.
  • Symptoom: drift houdt aan nadat omgeving en bevestiging onder controle zijn gebracht: Herkalibreer met een gecertificeerde stapstandaard zoals de 88nm Step Standard met ZYGO-certificering. Vergelijk de gemeten waarde met de gecertificeerde waarde. Als drift aanhoudt na een geldige kalibratie, stop dan en neem contact op met de Zygo-service.

Productfeiten die belangrijk zijn voor driftdiagnose

  • 88nm Step Standard met ZYGO-certificering: 88nm Step Standard met ZYGO-certificering wordt geleverd als SKU 6300-0917-01 in de standaardconfiguratie en is geassocieerd met een ISO 17025 gecertificeerd laboratorium. Een traceerbare stapstandaard stelt u in staat om echte drift te scheiden van een kalibratie-offset en geeft u een verdedigbare referentie bij het oplossen van problemen.
  • NewView 1 asbewegingskit: De NewView 1 asbewegingskit is een ZYGO-accessoire voor het NewView 8000/9000 platform. Het biedt één bewegingsas met gemotoriseerde Z en handmatige XYRP-aanpassing. Als drift alleen optreedt tijdens podiumbewegingen, helpen de gemotoriseerde Z en handmatige XYRP-aanpassing van deze kit u om te isoleren of het probleem in het bewegingssysteem of de optiek zit.