クイックアンサー

光学プロファイラのドリフトの多くは、機器の故障ではなく、環境要因やセットアップに起因します。まずは校正に触れる前に、振動、温度、サンプルの安定性を確認してください。これらを管理してもなおドリフトが続く場合は、認定ステップ標準器で再校正し、ステージの動作を確認してください。

症状チェック：ドリフトですか、それとも一度きりのオフセットですか？

ドリフトとは、サンプルやセットアップを意図的に変更していないのに、測定値が時間とともに変化することを指します。一度きりのオフセットは、繰り返し測定しても一定のままです。何かを調整する前に、同じ安定したサンプルを10分間にわたって3回測定してください。値が変動する場合はドリフトです。常に同じ量だけずれている場合は、校正で対応できるオフセットです。

考えられる原因 1：振動と音響ノイズ

光学プロファイラは干渉計タイプの機器です。床の振動、近くのポンプ、あるいは大きなHVACの音などが干渉縞をずらし、高さ測定値のドリフトを引き起こすことがあります。これは最も一般的なプロファイラの振動問題の一つです。システムをより静かな場所に移動するか、除振台を追加してください。すでに除振台を使用している場合は、水平が取れているか、アイソレータが正しく膨張しているかを確認してください。

考えられる原因 2：室温またはサンプルの温度変化

室温が1°C変化するだけで、高分解能プロファイラではドリフトとして記録されるほど金属部品が動くことがあります。温度変化の後は、機器とサンプルを少なくとも1時間安定させてください。プロファイラを窓、ドア、またはオン/オフを繰り返す機器の近くに置かないでください。重要な測定では、データと一緒に室温も記録してください。

考えられる原因 3：ステージの動作または固定具の緩み

ステージを動かしたときだけドリフトが現れる場合、問題は機械的なものです。サンプルがしっかりとクランプされているか、ステージが引っかかっていないかを確認してください。モーター駆動軸を備えたシステムでは、摩耗または位置ずれしたステージが一方向への再現性のあるドリフトを引き起こす可能性があります。NewView 1軸モーションキットは、モーター駆動のZ軸と手動のXYRP調整を提供します。セットアップで手動XYを使用している場合は、電子機器のせいにする前に、それらのロックがしっかり締まっていることを確認してください。

是正措置：認定標準器で再校正

環境と固定を除外したら、認定ステップ標準器を使用して再校正してください。88nmステップ標準器（ZYGO認定付き）は、SKU 6300-0917-01として供給され、ISO 17025認定ラボラトリーに関連付けられており、その報告値はトレーサブルです。システムの校正手順に従い、測定されたステップ高さを認定値と比較してください。誤差がプロセスの許容範囲内であれば、完了です。

いつ止めてサービスに連絡すべきか

振動、温度、固定を管理し、認定標準器での校正が成功した後もドリフトが続く場合は、調整を止めてZygoサービスに連絡してください。また、校正の不確かさよりも大きな急激なジャンプが見られる場合や、機器がハードウェアエラーを報告する場合も同様です。ドリフトするシステムを繰り返し再校正すると、故障しているコンポーネントを隠し、時間を無駄にする可能性があります。

ドリフト診断フロー

  • 症状：測定値が数分間にわたって変動する： まず振動と温度変化を確認してください。同じサンプルを10分間にわたって3回測定し、ドリフトを確認します。 安定している場合、問題はドリフトではなくオフセットです。
  • 症状：ステージを動かしたときのみドリフトが発生する： サンプルのクランプとステージのロックを検査してください。NewView 8000/9000システムでは、モーションキットのZ軸とXYRP調整が滑っていないか確認してください。 ステージがしっかりしている場合、問題はおそらく環境要因です。
  • 症状：環境と固定を管理してもドリフトが続く： 88nmステップ標準器（ZYGO認定付き）などの認定ステップ標準器で再校正してください。測定値と認定値を比較します。 有効な校正後もドリフトが続く場合は、作業を中止してZygoサービスに連絡してください。

ドリフト診断に重要な製品情報

  • 88nmステップ標準器（ZYGO認定付き）: 88nmステップ標準器（ZYGO認定付き）は、SKU 6300-0917-01として標準構成で供給され、ISO 17025認定ラボラトリーに関連付けられています。トレーサブルなステップ標準器を使用すると、真のドリフトと校正オフセットを区別でき、トラブルシューティングの際に有力な基準となります。
  • NewView 1軸モーションキット: NewView 1軸モーションキットは、NewView 8000/9000プラットフォーム用のZYGOアクセサリです。モーター駆動のZ軸と手動のXYRP調整を備えた1軸のモーションを提供します。ステージ移動中にのみドリフトが現れる場合、このキットのモーター駆動Z軸と手動XYRP調整により、問題がモーションシステムにあるのか光学系にあるのかを切り分けるのに役立ちます。