快速解答

大多數光學輪廓儀的漂移問題源自環境或設定因素，而非儀器故障。請先檢查震動、溫度及樣品穩定性，再考慮校正。若上述因素排除後讀數仍持續漂移，請使用具認證的階高標準片重新校正，並確認載物台運作正常。

症狀檢查：是漂移還是一次性偏移？

漂移意指讀數在未刻意改變樣品或設定的情況下隨時間變化。一次性偏移則是在重複量測時維持恆定。在進行任何調整前，請在 10 分鐘內對同一穩定樣品量測三次。若數值持續變動，即為漂移；若數值 consistently 偏離相同幅度，則為偏移，可透過校正解決。

可能原因 1：震動與噪音干擾

光學輪廓儀屬於干涉儀器。地板震動、附近幫浦運作，甚至空調噪音都可能造成干涉條紋移動，導致高度讀數漂移。這是常見的輪廓儀震動問題之一。請將系統移至較安靜的位置，或加裝隔震桌。若已使用隔震設備，請確認其水平且隔震器充氣正常。

可能原因 2：環境或樣品溫度變化

室溫變化 1°C 即可能使金屬部件產生足以在高解析度輪廓儀上顯示為漂移的位移。溫度變化後，請讓儀器與樣品穩定至少一小時。避免將輪廓儀放置在窗邊、門口或會間歇運作的設備附近。進行關鍵量測時，請同時記錄室溫數據。

可能原因 3：載物台移動或夾具鬆動

若漂移僅在移動載物台時出現，問題屬於機械層面。請檢查樣品是否確實夾緊，載物台是否卡滯。在配備馬達軸的系統中，磨損或對位不準的載物台可能導致單一方向的重複性漂移。NewView 1 軸向運動套件提供馬達驅動 Z 軸與手動 XYRP 調整，若您的設定使用手動 XY，請先確認鎖固確實，再考慮電子問題。

修正措施：使用具認證標準片重新校正

排除環境與夾具因素後，請使用具認證的階高標準片重新校正。88nm 階高標準片（含 ZYGO 認證）以 SKU 6300-0917-01 供應，並與 ISO 17025 認證實驗室相關聯，代表其報告數值具追溯性。請依照系統的校正程序，將量測的階高與認證數值比對。若誤差在製程容許範圍內，即完成校正。

何時應停止並聯絡維修服務

若在控制震動、溫度與夾具因素，並以認證標準片成功校正後，漂移仍持續發生，請停止調整並聯絡 Zygo 維修服務。此外，若出現超出校正不確定度的突發跳動，或儀器回報硬體錯誤，也應停止操作。對漂移中的系統反覆校正可能掩蓋零件故障問題並浪費時間。

漂移診斷流程

  • 症狀：讀數在數分鐘內持續變動： 先檢查震動與溫度變化。在 10 分鐘內對同一樣品量測三次以確認漂移。 若數值穩定，問題為偏移而非漂移。
  • 症狀：僅在移動載物台時出現漂移： 檢查樣品夾持與載物台鎖固。在 NewView 8000/9000 系統上，確認運動套件的 Z 與 XYRP 調整未滑動。 若載物台鎖固正常，問題可能來自環境因素。
  • 症狀：環境與夾具因素排除後漂移仍持續： 使用具認證的階高標準片重新校正，例如 88nm 階高標準片（含 ZYGO 認證）。比對量測值與認證值。 若有效校正後漂移仍持續，請停止操作並聯絡 Zygo 維修服務。

與漂移診斷相關的產品資訊

  • 88nm 階高標準片（含 ZYGO 認證）: 88nm 階高標準片（含 ZYGO 認證）以 SKU 6300-0917-01 供應（標準配置），並與 ISO 17025 認證實驗室相關聯。具追溯性的階高標準片可協助您區分真正的漂移與校正偏移，並在故障排除時提供可靠的參考依據。
  • NewView 1 軸向運動套件: NewView 1 軸向運動套件是適用於 NewView 8000/9000 平台的 ZYGO 配件。它提供單一軸向運動，具備馬達驅動 Z 軸與手動 XYRP 調整。若漂移僅在載物台移動時出現，此套件的馬達驅動 Z 軸與手動 XYRP 調整功能可協助您判斷問題源於運動系統或光學系統。