Risposta rapida

La maggior parte delle derive nei profilometri ottici è dovuta all'ambiente o alla configurazione, non a uno strumento guasto. Inizia controllando vibrazioni, temperatura e stabilità del campione prima di toccare la calibrazione. Se le letture continuano a derivare dopo aver controllato questi fattori, ricalibra con uno standard a gradino certificato e verifica il movimento del tavolino.

Controllo dei sintomi: è deriva o un offset una tantum?

La deriva significa che le letture cambiano nel tempo senza una modifica deliberata del campione o della configurazione. Un offset una tantum rimane costante in misurazioni ripetute. Prima di regolare qualsiasi cosa, misura lo stesso campione stabile tre volte per 10 minuti. Se i valori variano, hai una deriva. Se sono costantemente spostati della stessa quantità, hai un offset che la calibrazione può correggere.

Causa probabile 1: Vibrazioni e rumore acustico

I profilometri ottici sono strumenti interferometrici. Le vibrazioni del pavimento, pompe vicine o anche un sistema HVAC rumoroso possono spostare le frange e far derivare le letture di altezza. Questo è uno dei problemi di vibrazione più comuni nei profilometri. Sposta il sistema in una posizione più silenziosa o aggiungi un tavolo di isolamento. Se hai già l'isolamento, verifica che sia livellato e che gli isolatori siano gonfiati correttamente.

Causa probabile 2: Cambiamenti termici nella stanza o nel campione

Un cambiamento di 1°C nella stanza può spostare le parti metalliche abbastanza da essere registrato come deriva su un profilometro ad alta risoluzione. Lascia stabilizzare lo strumento e il campione per almeno un'ora dopo qualsiasi cambiamento di temperatura. Evita di posizionare il profilometro vicino a finestre, porte o apparecchiature che si accendono e spengono. Per misurazioni critiche, registra la temperatura della stanza insieme ai tuoi dati.

Causa probabile 3: Movimento del tavolino o fissaggio allentato

Se la deriva appare solo quando muovi il tavolino, il problema è meccanico. Controlla che il campione sia saldamente bloccato e che il tavolino non sia inceppato. Su sistemi con assi motorizzati, un tavolino usurato o disallineato può causare una deriva ripetibile in una direzione. Il kit di movimento asse NewView 1 fornisce Z motorizzato con regolazione manuale XYRP, quindi se la tua configurazione usa XY manuale, verifica che quei blocchi siano serrati prima di dare la colpa all'elettronica.

Azione correttiva: Ricalibra con uno standard certificato

Quando ambiente e fissaggio sono esclusi, ricalibra usando uno standard a gradino certificato. Lo standard a gradino da 88 nm con certificazione ZYGO è fornito come SKU 6300-0917-01 ed è associato a un laboratorio certificato ISO 17025, il che significa che il suo valore riportato è tracciabile. Segui la procedura di calibrazione del tuo sistema e confronta l'altezza del gradino misurata con il valore certificato. Se l'errore è entro la tua tolleranza di processo, hai finito.

Quando fermarsi e chiamare l'assistenza

Smetti di regolare e contatta l'assistenza Zygo se la deriva continua dopo aver controllato vibrazioni, temperatura e fissaggio, e dopo una calibrazione riuscita con uno standard certificato. Fermati anche se vedi salti improvvisi maggiori della tua incertezza di calibrazione, o se lo strumento segnala errori hardware. Ricalibrare ripetutamente un sistema con deriva può mascherare un componente difettoso e far perdere tempo.

Flusso di diagnosi della deriva

  • Sintomo: Le letture variano nell'arco di minuti: Controlla prima vibrazioni e cambiamenti termici. Misura lo stesso campione tre volte per 10 minuti per confermare la deriva. Se è stabile, il problema è un offset, non una deriva.
  • Sintomo: Deriva solo quando si muove il tavolino: Ispeziona il bloccaggio del campione e i blocchi del tavolino. Sui sistemi NewView 8000/9000, verifica che le regolazioni Z e XYRP del kit di movimento non scivolino. Se il tavolino è serrato, il problema è probabilmente ambientale.
  • Sintomo: La deriva persiste dopo aver controllato ambiente e fissaggio: Ricalibra con uno standard a gradino certificato come lo standard a gradino da 88 nm con certificazione ZYGO. Confronta il valore misurato con quello certificato. Se la deriva continua dopo una calibrazione valida, fermati e contatta l'assistenza Zygo.

Fatti sul prodotto rilevanti per la diagnosi della deriva

  • Standard a gradino da 88 nm con certificazione ZYGO: Lo standard a gradino da 88 nm con certificazione ZYGO è fornito come SKU 6300-0917-01 nella configurazione standard ed è associato a un laboratorio certificato ISO 17025. Uno standard a gradino tracciabile ti consente di separare la deriva reale da un offset di calibrazione e ti dà un riferimento difendibile durante la risoluzione dei problemi.
  • Kit di movimento asse NewView 1: Il kit di movimento asse NewView 1 è un accessorio ZYGO per la piattaforma NewView 8000/9000. Fornisce un asse di movimento con Z motorizzato e regolazione manuale XYRP. Se la deriva appare solo durante i movimenti del tavolino, lo Z motorizzato e la regolazione manuale XYRP di questo kit ti aiutano a isolare se il problema è nel sistema di movimento o nell'ottica.