إجابة سريعة
قم بتركيب طاولة عزل الاهتزازات من Zygo على أرضية صلبة ومستوية بعيدًا عن مصادر الاهتزاز، ثم قم بتسوية الطاولة ومحاذاة الحوامل البصرية قبل الضبط الدقيق للعوازل. تحقق من الاستقرار عن طريق قياس انجراف الأهداب باستخدام مقياس تداخل Zygo مثل Verifire بدقة 1.064 ميكرومتر وفتحة 6 بوصة. اترك 24–48 ساعات حتى يستقر النظام قبل إجراء القياسات الحرجة.
تحضير الموقع وفحص الطاولة
اختر موقعًا على لوح خرساني، ويفضل أن يكون على مستوى الأرض أو في الطابق السفلي، بعيدًا عن وحدات التدفئة والتهوية وتكييف الهواء والمصاعد وحركة المرور الكثيفة. تأكد من أن الأرضية مسطحة ويمكنها تحمل الطاولة بالإضافة إلى الحمولة. قم بفك تغليف الطاولة وافحصها بحثًا عن أضرار الشحن؛ وتحقق من أن جميع العوازل وصمامات التسوية وفتحات التثبيت سليمة. اجمع الأدوات: ميزان دقة (0.02 مم/م أو أفضل)، ومفتاح عزم، ومفاتيح سداسية، ومنظف متوافق مع الغرف النظيفة.
خطأ شائع: وضع الطاولة على أرضية خشبية معلقة أو بالقرب من باب. نقطة تفتيش: يجب أن تشعر أن الأرضية صلبة تحت الأقدام وألا تنقل الاهتزازات عند المشي بالقرب منها.
ضع الطاولة وقم بتسويتها بشكل تقريبي
ضع الطاولة في موقعها النهائي، مع ترك مسافة لا تقل عن 60 سم على جميع الجوانب لسهولة الوصول. إذا كانت الطاولة تحتوي على عوازل قابلة للإزالة، فقم بتركيبها وفقًا لتعليمات الشركة المصنعة. استخدم أقدام التسوية أو ضبط ارتفاع العازل لجعل سطح الطاولة ضمن 0.5 مم/م من التسوية. ابدأ من الزوايا واتجه نحو المركز لتجنب التواء الإطار.
خطأ شائع: الإفراط في شد زاوية واحدة، مما قد يؤدي إلى التواء الطاولة. نقطة تفتيش: يجب أن يُظهر ميزان دقة موضوع على الطاولة في الاتجاهين X و Y انحرافًا أقل من نصف فقاعة.
محاذاة الحوامل والمكونات البصرية
بمجرد أن يصبح الطاولة مستوية، ابدأ بتركيب المكونات البصرية. استخدم شبكة الثقوب الملولبة في الطاولة لتحديد موضع الحوامل، واربط البراغي يدويًا أولاً. قم بمحاذاة المحور البصري باستخدام ليزر أو تلسكوب محاذاة، مع ضبط الحوامل بشكل متكرر. بالنسبة لقياسات التداخل، انتبه بشكل خاص للسطح المرجعي والجهاز قيد الاختبار. إذا كنت تستخدم Zegage ProHR، فإن منصة XYZ الآلية والإمالة/الإمالة اليدوية يمكن أن تبسط المحاذاة الدقيقة.
خطأ شائع: إجبار الحامل على الدخول في ثقب غير محاذى، مما قد يؤدي إلى تجريد الخيوط. نقطة تفتيش: يجب أن يظل الشعاع متمركزًا على الهدف طوال حركة المنصة الكاملة.
ضبط دقيق لعزل الاهتزازات
إذا كان طاولتك تستخدم عوازل هوائية، اضبط ضغط الهواء لرفع الطاولة إلى ارتفاعها الاسمي. تحتوي معظم العوازل على صمام تسوية يحافظ تلقائيًا على الارتفاع؛ تحقق من عودة الطاولة إلى المستوى بعد دفعة خفيفة. بالنسبة لأنظمة العزل النشطة، اتبع إجراءات بدء التشغيل الخاصة بالشركة المصنعة. اترك النظام يستقر لمدة لا تقل عن 30 دقيقة قبل القياس.
خطأ شائع: ضبط الضغط مرتفعًا جدًا، مما قد يتسبب في انحراف الطاولة. نقطة التحقق: يجب أن تستقر الطاولة خلال بضع ثوانٍ بعد دفعة خفيفة، دون تذبذب مستمر.
تحقق من استقرار مقياس التداخل
قم بإعداد مقياس التداخل الخاص بك وقياس استقرار الهامش على مدى 5–10 دقيقة. يجب أن يُظهر الإعداد المستقر انجرافًا طفيفًا في الهامش (أقل من هامش واحد في الدقيقة لمعظم التطبيقات). إذا كان الانجراف مفرطًا، فتحقق من تيارات الهواء، أو التدرجات الحرارية، أو اهتزازات الأرضية. استخدم مقياس التداخل Verifire 1.064 ميكرومتر بفتحة 6 بوصة للحصول على قياسات عالية الدقة؛ حيث يساعد التكبير والتركيز المشفران في الحفاظ على المحاذاة أثناء الاختبار.
خطأ شائع: القياس مباشرة بعد التركيب قبل الوصول إلى التوازن الحراري. نقطة تفتيش: كرر القياس بعد 24 ساعة؛ يجب أن يتحسن الاستقرار مع استقرار النظام.
خطوات التركيب والمحاذاة
- تحضير الموقع: ضع الطاولة على أرضية صلبة ومستوية بعيدًا عن مصادر الاهتزاز. تأكد من وجود خلوص لا يقل عن 60 سم على جميع الجوانب. نقطة التحقق: يجب ألا تنقل الأرضية الاهتزازات عند المشي عليها.
- التسوية التقريبية: اضبط العوازل أو الأقدام لجعل الطاولة ضمن 0.5 مم/م من التسوية، بدءًا من الزوايا وصولًا إلى المركز. نقطة التحقق: مستوى الدقة يُظهر انحرافًا أقل من نصف فقاعة.
- المحاذاة البصرية: قم بتركيب ومحاذاة المكونات البصرية باستخدام شبكة الفتحات في الطاولة، بدءًا ببراغي تُربط بالأصابع. نقطة التحقق: تبقى الحزمة مركزية على كامل مدى حركة المنصة.
- ضبط العازل: اضبط ضغط الهواء أو معلمات العزل النشط بحيث يعود الطاولة إلى المستوى بعد دفعة خفيفة. نقطة التحقق: يستقر الطاولة خلال ثوانٍ دون تذبذب.
- التحقق من الاستقرار: قياس انجراف الأهداب باستخدام مقياس التداخل لمدة 5–10 دقيقة؛ كرر بعد 24 ساعة. نقطة التحقق: انجراف أقل من هدب واحد في الدقيقة لمعظم التطبيقات.
حقائق المنتج
- مقياس تداخل Verifire 1.064 ميكرومتر بفتحة 6 بوصة: مقياس تداخل Verifire 1.064 ميكرومتر بفتحة 6 بوصة، مع تكبير وتركيز مشفرين، SKU SSR VF-1064-6-1. يوفر مرجع قياس مستقر وعالي الدقة للتحقق من أداء عزل الطاولة.
- Zegage ProHR: يتضمن Zegage ProHR منصة XYZ آلية (100 × 100 مم)، وإمالة يدوية (±4°)، وعدسات موضوعية 10x و50x، ووحدة تحكم نظام جديدة مع برنامج Win 11 وMx. تعمل المنصة الآلية والإمالة على تبسيط المحاذاة الدقيقة للعينات على طاولة العزل.
- معيار خطوة 88 نانومتر مع شهادة ZYGO: معيار خطوة 88 نانومتر مع شهادة ZYGO، SKU 6300-0917-01، من مختبر معتمد ISO 17025. يمكن استخدامه كمرجع للتحقق من معايرة النظام بعد التركيب والمحاذاة.
