Respuesta rápida

Instale su mesa de aislamiento de vibraciones Zygo sobre un suelo rígido y nivelado, lejos de fuentes de vibración; a continuación, nivele la mesa y alinee los soportes ópticos antes de ajustar finamente los aisladores. Verifique la estabilidad midiendo la deriva de las franjas con un interferómetro Zygo, como el Verifire de 1.064 μm con apertura de 6 pulgadas. Deje que el sistema se asiente durante 24–48 horas antes de realizar mediciones críticas.

Prepare el lugar e inspeccione la mesa

Elija una ubicación sobre una losa de hormigón, idealmente a nivel del suelo o en un sótano, lejos de unidades de climatización, ascensores y zonas de mucho tránsito. Asegúrese de que el suelo esté nivelado y pueda soportar la mesa más la carga. Desembale la mesa e inspecciónela por si hubiera daños de transporte; compruebe que todos los aisladores, válvulas de nivelación y orificios de montaje estén intactos. Reúna las herramientas: un nivel de precisión (0.02 mm/m o mejor), llave dinamométrica, llaves hexagonales y un limpiador compatible con salas blancas.

Error común: colocar la mesa sobre un suelo de madera suspendido o cerca de una puerta. Punto de control: el suelo debe sentirse sólido bajo los pies y no transmitir vibraciones al caminar cerca.

Coloque la mesa y nivélela aproximadamente

Coloque la mesa en su ubicación definitiva, dejando al menos 60 cm de espacio libre en todos los lados para acceder a ella. Si la mesa tiene aisladores extraíbles, instálelos según las instrucciones del fabricante. Utilice las patas niveladoras o el ajuste de altura de los aisladores para dejar la superficie de la mesa dentro de 0.5 mm/m de nivel. Comience por las esquinas y avance hacia el centro para evitar torcer el marco.

Error común: apretar demasiado una esquina, lo que puede deformar la mesa. Punto de control: un nivel de precisión colocado sobre la mesa en ambas direcciones X e Y debe mostrar una desviación de menos de media burbuja.

Alinear soportes ópticos y componentes

Una vez que la mesa esté nivelada, comience a montar sus componentes ópticos. Use la rejilla de orificios roscados de la mesa para colocar los soportes y apriete los tornillos primero con los dedos. Alinee el eje óptico con un láser o un telescopio de alineación, ajustando los soportes de forma iterativa. Para interferometría, preste especial atención a la superficie de referencia y al dispositivo bajo prueba. Si utiliza un Zegage ProHR, su escenario XYZ motorizado y la inclinación/balanceo manual pueden simplificar la alineación fina.

Error común: forzar un soporte en un orificio desalineado, lo que puede dañar las roscas. Punto de control: el haz debe permanecer centrado en el objetivo durante todo el recorrido del escenario.

Ajuste fino del aislamiento de vibraciones

Si su mesa utiliza aisladores neumáticos, ajuste la presión del aire para llevar la mesa a su altura nominal. La mayoría de los aisladores tienen una válvula de nivelación que mantiene la altura automáticamente; verifique que la mesa vuelva a nivelarse después de un empujón suave. Para sistemas de aislamiento activo, siga el procedimiento de arranque del fabricante. Deje que el sistema se estabilice durante al menos 30 minutos antes de medir.

Error común: ajustar la presión demasiado alta, lo que puede hacer que la mesa se desvíe. Punto de control: la mesa debe asentarse en unos segundos después de un empujón ligero, sin oscilación continua.

Verificar la estabilidad del interferómetro

Configure su interferómetro y mida la estabilidad de las franjas durante 5–10 minutos. Una configuración estable debe mostrar una deriva mínima de las franjas (menos de una franja por minuto para la mayoría de las aplicaciones). Si la deriva es excesiva, verifique corrientes de aire, gradientes de temperatura o vibraciones del suelo. Utilice el interferómetro Verifire de 1.064 μm con apertura de 6 pulgadas para mediciones de alta resolución; su zoom y enfoque codificados ayudan a mantener la alineación durante las pruebas.

Error común: medir inmediatamente después de la instalación antes del equilibrio térmico. Punto de control: repita la medición después de 24 horas; la estabilidad debería mejorar a medida que el sistema se asienta.

Pasos de instalación y alineación

  1. Preparación del lugar: Coloque la mesa sobre un suelo rígido y nivelado, lejos de fuentes de vibración. Asegúrese de dejar al menos 60 cm de espacio libre en todos los lados. Punto de control: el suelo no debe transmitir vibraciones al caminar sobre él.
  2. Nivelación aproximada: Ajuste los aisladores o las patas para que la mesa quede dentro de 0.5 mm/m de nivel, trabajando de las esquinas hacia el centro. Punto de control: el nivel de precisión muestra una desviación de menos de media burbuja.
  3. Alineación óptica: Monte y alinee los componentes ópticos utilizando la rejilla de orificios de la mesa, comenzando con tornillos apretados a mano. Punto de control: el haz permanece centrado en todo el recorrido de la plataforma.
  4. Ajuste del aislador: Ajuste la presión del aire o los parámetros de aislamiento activo para que la mesa vuelva a nivelarse tras un empujón suave. Punto de control: la mesa se estabiliza en segundos sin oscilación.
  5. Verificación de estabilidad: Mida la deriva de franjas con un interferómetro durante 5–10 minutos; repita después de 24 horas. Punto de control: deriva inferior a una franja por minuto para la mayoría de las aplicaciones.

Datos del producto

  • Interferómetro Verifire de 1.064 µm con apertura de 6 pulgadas: Interferómetro Verifire de 1.064 µm con apertura de 6 pulgadas, zoom y enfoque codificados, SKU SSR VF-1064-6-1. Proporciona una referencia de medición estable y de alta resolución para verificar el rendimiento de aislamiento de la mesa.
  • Zegage ProHR: El Zegage ProHR incluye una plataforma XYZ motorizada (100 × 100 mm), inclinación manual (±4°), objetivos de 10x y 50x, y un nuevo controlador de sistema con software Win 11 y Mx. Su plataforma motorizada e inclinación simplifican la alineación precisa de las muestras en la mesa de aislamiento.
  • Estándar de escalón de 88 nm con certificación ZYGO: Estándar de escalón de 88 nm con certificación ZYGO, SKU 6300-0917-01, de un laboratorio certificado ISO 17025. Puede utilizarse como artefacto de referencia para comprobar la calibración del sistema después de la instalación y alineación.