クイックアンサー
Zygo 防振テーブルは、振動源から離れた剛性のある水平な床に設置し、テーブルを水平にした後、光学マウントを位置合わせしてから、アイソレーターを微調整します。Zygo 干渉計（例：開口 6 インチの Verifire 1.064 μm）でフリンジドリフトを測定して安定性を確認します。重要な測定の前に、システムを 24～48 時間安定させてください。
設置場所の準備とテーブルの点検
コンクリートスラブ上の場所を選びます。理想的には地上階または地下室で、HVACユニット、エレベーター、人の往来が多い場所から離れた場所にします。床が平らで、テーブルとペイロードを支えられることを確認してください。テーブルを開梱し、輸送中の損傷がないか点検します。すべてのアイソレーター、レベリングバルブ、取り付け穴が無傷であることを確認してください。工具を用意します：精密水準器（0.02 mm/m以上）、トルクレンチ、六角レンチ、クリーンルーム対応クリーナー。
よくある間違い：テーブルを吊り床の木製フロアやドアの近くに置くこと。チェックポイント：床は足元でしっかりと感じられ、近くを歩いても振動が伝わらないこと。
テーブルを配置し、おおよその水平を出します
テーブルを最終的な設置場所に置き、すべての側面に少なくとも 60 cm のアクセススペースを確保します。取り外し可能なアイソレーターが付いている場合は、メーカーの指示に従って取り付けてください。レベル調整フットまたはアイソレーターの高さ調整を使用して、天板を水平度 0.5 mm/m 以内に調整します。フレームのねじれを防ぐため、角から始めて中央に向かって作業します。
よくある間違い: 1つの角を締めすぎると、テーブルが反ることがあります。チェックポイント: テーブル上にX方向とY方向の両方に精密水準器を置き、気泡のずれが半分未満であることを確認します。
光学マウントとコンポーネントの位置合わせ
テーブルが水平になったら、光学部品の取り付けを開始します。テーブルのタップ穴グリッドを使用してマウントを配置し、最初は指でネジを締めます。レーザーまたはアライメント望遠鏡を使用して光軸を調整し、マウントを反復的に調整します。干渉計測では、参照面と被試験デバイスに特に注意してください。Zegage ProHRを使用する場合、モーター駆動のXYZステージと手動のチップ/チルトにより、微調整が簡単になります。
よくある間違い：位置がずれた穴にマウントを無理に押し込むと、ねじ山を傷める可能性があります。チェックポイント：ビームはステージの全移動範囲にわたってターゲットの中心に保たれる必要があります。
防振の微調整
テーブルが空気式アイソレータを使用している場合は、空気圧を調整してテーブルを公称高さにします。ほとんどのアイソレータには高さを自動的に維持するレベリングバルブがあります。軽く押した後にテーブルが水平に戻ることを確認してください。アクティブ除振システムの場合は、メーカーの起動手順に従ってください。測定前にシステムを少なくとも30分間安定させてください。
よくある間違い：圧力を高く設定しすぎると、テーブルがドリフトする可能性があります。チェックポイント：軽く押した後、テーブルは数秒以内に落ち着き、継続的な振動がないことを確認してください。
干渉計の安定性を確認する
干渉計をセットアップし、5～10分間のフリンジ安定性を測定します。安定したセットアップでは、フリンジのドリフトは最小限（ほとんどのアプリケーションで毎分1フリンジ未満）である必要があります。ドリフトが過剰な場合は、空気の流れ、温度勾配、床の振動を確認してください。高分解能測定には、1.064 μm Verifire干渉計（6インチ開口）を使用します。エンコードされたズームとフォーカスにより、テスト中のアライメント維持に役立ちます。
よくある間違い：熱平衡に達する前に、設置直後に測定すること。チェックポイント：24時間後に測定を繰り返します。システムが安定するにつれて、安定性が向上するはずです。
設置とアライメントの手順
- 設置場所の準備： 振動源から離れた、硬く水平な床にテーブルを置きます。全側面に少なくとも60cmのスペースを確保してください。 チェックポイント：床を歩いたときに振動が伝わらないことを確認します。
- おおまかな水平出し： アイソレーターまたは脚を調整して、テーブルを水平度0.5mm/m以内にします。隅から中央に向かって作業します。 チェックポイント：精度レベルは気泡の半分未満のずれを示しています。
- 光学アライメント： テーブルの穴グリッドを使用して光学部品を取り付け、位置合わせします。最初は指で締める程度のネジから始めます。 チェックポイント：ステージの全移動範囲にわたってビームが中心に保たれています。
- アイソレータの調整： エア圧力またはアクティブ除振パラメータを調整し、テーブルが軽く押された後に水平に戻るようにします。 チェックポイント：テーブルが数秒以内に振動なく安定します。
- 安定性の確認： 干渉計を使用して、5～10分間のフリンジドリフトを測定します。24時間後に繰り返します。 チェックポイント：ほとんどのアプリケーションで、ドリフトが1分あたり1フリンジ未満です。
製品情報
- 1.064 µm Verifire 干渉計（6 インチ開口）: 1.064 µm Verifire 干渉計（6 インチ開口、エンコード式ズーム＆フォーカス、SKU SSR VF-1064-6-1）。テーブル防振性能の検証に、安定した高分解能測定基準を提供します。
- Zegage ProHR: Zegage ProHRには、モーター駆動のXYZステージ（100 × 100 mm）、手動チルト/ティルト（±4°）、10xおよび50x対物レンズ、Win 11およびMxソフトウェアを備えた新しいシステムコントローラーが含まれています。モーター駆動のステージとチルト/ティルトにより、アイソレーションテーブル上のサンプルの微細な位置合わせが簡単になります。
- 88 nmステップ標準（ZYGO認定付き）: 88 nmステップ標準（ZYGO認定付き）、SKU 6300-0917-01、ISO 17025認定ラボ製。設置および位置合わせ後にシステムの校正を確認するための参照用アーティファクトとして使用できます。
