Kurze Antwort

Installieren Sie Ihren Zygo-Schwingungsisolierungstisch auf einem starren, ebenen Boden entfernt von Schwingungsquellen, nivellieren Sie dann den Tisch und richten Sie die optischen Halterungen aus, bevor Sie die Isolatoren feinjustieren. Überprüfen Sie die Stabilität, indem Sie die Streifenwanderung mit einem Zygo-Interferometer wie dem Verifire mit 1.064 μm und 6 Zoll Apertur messen. Lassen Sie dem System 24–48 Stunden Zeit, um sich zu setzen, bevor Sie kritische Messungen durchführen.

Standort vorbereiten und Tisch prüfen

Wählen Sie einen Standort auf einer Betonplatte, idealerweise ebenerdig oder im Keller, entfernt von HLK-Geräten, Aufzügen und starkem Fußgängerverkehr. Stellen Sie sicher, dass der Boden eben ist und den Tisch samt Nutzlast tragen kann. Packen Sie den Tisch aus und prüfen Sie ihn auf Transportschäden; stellen Sie sicher, dass alle Isolatoren, Nivellierventile und Montagelöcher intakt sind. Besorgen Sie Werkzeuge: eine Präzisionswaage (0.02 mm/m oder besser), einen Drehmomentschlüssel, Inbusschlüssel und einen Reiniger, der für Reinräume geeignet ist.

Häufiger Fehler: Den Tisch auf einem schwebenden Holzboden oder in der Nähe einer Tür aufstellen. Kontrollpunkt: Der Boden sollte sich unter den Füßen fest anfühlen und keine Vibrationen übertragen, wenn Sie in der Nähe gehen.

Positionieren Sie den Tisch und nivellieren Sie ihn grob

Stellen Sie den Tisch an seinem endgültigen Standort auf und lassen Sie auf allen Seiten mindestens 60 cm Platz für den Zugang. Wenn der Tisch über abnehmbare Isolatoren verfügt, installieren Sie diese gemäß den Anweisungen des Herstellers. Verwenden Sie die Nivellierfüße oder die Höhenverstellung der Isolatoren, um die Tischplatte innerhalb von 0.5 mm/m waagerecht auszurichten. Beginnen Sie an den Ecken und arbeiten Sie sich zur Mitte vor, um ein Verziehen des Rahmens zu vermeiden.

Häufiger Fehler: Eine Ecke zu fest anzuziehen, was den Tisch verziehen kann. Kontrollpunkt: Eine Präzisionswaage, die auf dem Tisch in X- und Y-Richtung platziert wird, sollte eine Abweichung von weniger als einer halben Blase anzeigen.

Optische Halterungen und Komponenten ausrichten

Sobald der Tisch eben ist, beginnen Sie mit der Montage Ihrer optischen Komponenten. Nutzen Sie das Gewindebohrungsraster des Tisches, um die Halterungen zu positionieren, und ziehen Sie die Schrauben zuerst von Hand an. Richten Sie die optische Achse mit einem Laser oder einem Ausrichtungsteleskop aus und justieren Sie die Halterungen iterativ. Bei der Interferometrie achten Sie besonders auf die Referenzfläche und das Prüfobjekt. Wenn Sie ein Zegage ProHR verwenden, können der motorisierte XYZ-Tisch und die manuelle Kipp-/Neigefunktion die Feinjustierung vereinfachen.

Häufiger Fehler: Eine Halterung in ein falsch ausgerichtetes Loch zu zwingen, was das Gewinde beschädigen kann. Kontrollpunkt: Der Strahl sollte über den gesamten Verfahrweg des Tisches auf dem Ziel zentriert bleiben.

Feinjustierung der Schwingungsisolierung

Wenn Ihr Tisch pneumatische Isolatoren verwendet, stellen Sie den Luftdruck ein, um den Tisch auf seine Nennhöhe zu bringen. Die meisten Isolatoren haben ein Niveauventil, das die Höhe automatisch hält; überprüfen Sie, ob der Tisch nach einem sanften Stoß wieder in die Waage kommt. Bei aktiven Isolationssystemen befolgen Sie die Startprozedur des Herstellers. Lassen Sie das System mindestens 30 Minuten stabilisieren, bevor Sie messen.

Häufiger Fehler: Der Druck wird zu hoch eingestellt, was dazu führen kann, dass der Tisch driftet. Kontrollpunkt: Der Tisch sollte sich nach einem leichten Stoß innerhalb weniger Sekunden beruhigen, ohne kontinuierliche Schwingung.

Interferometer-Stabilität überprüfen

Richten Sie Ihr Interferometer ein und messen Sie die Streifenstabilität über 5–10 Minuten. Ein stabiler Aufbau sollte nur minimale Streifendrift aufweisen (weniger als ein Streifen pro Minute für die meisten Anwendungen). Bei übermäßiger Drift prüfen Sie auf Luftströmungen, Temperaturgradienten oder Bodenerschütterungen. Verwenden Sie das 1.064 μm Verifire Interferometer mit 6 Zoll Apertur für hochauflösende Messungen; sein codierter Zoom und Fokus helfen, die Ausrichtung während der Prüfung beizubehalten.

Häufiger Fehler: Messung unmittelbar nach der Installation vor Erreichen des thermischen Gleichgewichts. Kontrollpunkt: Wiederholen Sie die Messung nach 24 Stunden; die Stabilität sollte sich verbessern, sobald sich das System setzt.

Installations- und Ausrichtungsschritte

  1. Standortvorbereitung: Stellen Sie den Tisch auf einen starren, ebenen Boden, entfernt von Vibrationsquellen. Sorgen Sie auf allen Seiten für einen Freiraum von mindestens 60 cm. Prüfpunkt: Der Boden sollte beim Begehen keine Vibrationen übertragen.
  2. Grobe Nivellierung: Stellen Sie die Isolatoren oder Füße so ein, dass der Tisch innerhalb von 0.5 mm/m waagerecht ist, und arbeiten Sie dabei von den Ecken zur Mitte. Kontrollpunkt: Die Genauigkeitsanzeige weicht weniger als eine halbe Libellenabweichung ab.
  3. Optische Ausrichtung: Montieren und richten Sie optische Komponenten mithilfe des Lochrasters des Tisches aus, beginnend mit handfest angezogenen Schrauben. Kontrollpunkt: Der Strahl bleibt über den gesamten Verfahrweg des Tisches zentriert.
  4. Isolator-Abgleich: Stellen Sie den Luftdruck oder die aktiven Isolationsparameter so ein, dass der Tisch nach einem leichten Stoß wieder in die Waage kommt. Kontrollpunkt: Der Tisch beruhigt sich innerhalb von Sekunden ohne zu schwingen.
  5. Stabilitätsprüfung: Messen Sie die Streifendrift mit einem Interferometer über 5–10 Minuten; wiederholen Sie den Vorgang nach 24 Stunden. Kontrollpunkt: Drift von weniger als einem Streifen pro Minute für die meisten Anwendungen.

Produktdetails

  • 1.064 µm Verifire Interferometer mit 6 Zoll Apertur: 1.064 µm Verifire Interferometer mit 6 Zoll Apertur, codiertem Zoom und Fokus, SKU SSR VF-1064-6-1. Bietet eine stabile, hochauflösende Messreferenz zur Überprüfung der Tischisolationsleistung.
  • Zegage ProHR: Das Zegage ProHR umfasst einen motorisierten XYZ-Tisch (100 × 100 mm), manuelle Kipp-/Neigefunktion (±4°), 10x- und 50x-Objektive sowie eine neue Systemsteuerung mit Win 11- und Mx-Software. Der motorisierte Tisch und die Kipp-/Neigefunktion vereinfachen die präzise Ausrichtung von Proben auf dem Isolationstisch.
  • 88 nm Stufenstandard mit ZYGO-Zertifizierung: 88 nm Stufenstandard mit ZYGO-Zertifizierung, SKU 6300-0917-01, aus einem nach ISO 17025 zertifizierten Labor. Kann als Referenzartefakt verwendet werden, um die Systemkalibrierung nach Installation und Ausrichtung zu überprüfen.