快速解答
將 Zygo 防震桌安裝在堅固、水平的樓板上，遠離震動來源，然後將桌子調平並對準光學支架，再微調隔離器。使用 Zygo 干涉儀（例如 6 吋孔徑的 Verifire 1.064 μm）測量條紋漂移，以驗證穩定性。在進行關鍵測量前，讓系統穩定 24–48 小時。
準備場地並檢查桌子
選擇混凝土板上的位置，理想情況下位於地面層或地下室，遠離 HVAC 設備、電梯和人流量大的區域。確保地板平整且能支撐工作台及負載。拆開工作台包裝並檢查是否有運輸損壞；確認所有隔振器、水平閥和安裝孔完好無損。準備工具：精密水平儀（0.02 mm/m 或更高精度）、扭力扳手、六角扳手，以及適用於無塵室的清潔劑。
常見錯誤：將工作台放置在懸空的木質地板上或靠近門邊。檢查點：地板應感覺堅實，且在附近走動時不會傳遞振動。
放置工作台並進行粗略的水平調整
將桌子放置於最終位置，四周至少保留 60 公分的空間以便操作。若桌子配有可拆卸的隔離器，請依照製造商的說明安裝。使用水平調整腳或隔離器的高度調整，將桌面水平度調整至 0.5 mm/m 以內。從角落開始，逐步向中心調整，以避免框架扭曲。
常見錯誤：過度鎖緊單一角落，可能導致桌面變形。檢查點：將精密水平儀分別置於桌面的 X 與 Y 方向，氣泡偏移應小於半格。
對齊光學支架與元件
一旦工作台水平，就開始安裝您的光學元件。使用工作台上的攻牙孔格來定位支架，並先用手鎖緊螺絲。使用雷射或對準望遠鏡對準光軸，並反覆調整支架。對於干涉測量，請特別注意參考表面和待測裝置。如果您使用的是 Zegage ProHR，其電動 XYZ 平台和手動傾斜/俯仰功能可以簡化精細對準。
常見錯誤：將支架強行推入未對準的孔中，這可能會剝落螺紋。檢查點：光束應在平台的整個行程中保持在目標的中心。
微調隔振
如果您的桌子使用氣壓式隔離器，請調整氣壓以將桌子升至其標稱高度。大多數隔離器都有自動維持高度的水平閥；請確認桌子在輕推後能恢復水平。對於主動式隔離系統，請遵循製造商的啟動程序。在測量前，讓系統至少穩定 30 分鐘。
常見錯誤：將壓力設定過高，可能導致桌子漂移。檢查點：桌子應在輕推後數秒內穩定，且無持續振盪。
驗證干涉儀穩定性
設定您的干涉儀，並在 5–10 分鐘內測量條紋穩定性。穩定的設定應顯示最小的條紋漂移（對於大多數應用，每分鐘少於一條條紋）。如果漂移過大，請檢查氣流、溫度梯度或地板振動。使用 1.064 μm Verifire 干涉儀（孔徑 6 英吋）進行高解析度測量；其編碼變焦和對焦有助於在測試期間保持對準。
常見錯誤：在熱平衡之前，安裝後立即進行測量。檢查點：在 24 小時後重複測量；隨著系統穩定，穩定性應會改善。
安裝與對準步驟
- 場地準備： 將桌子放置在堅固且水平的表面上，遠離振動來源。確保四周至少有 60 公分的淨空空間。 檢查點：在地板上行走時，不應傳遞振動。
- 粗略水平調整： 調整隔振器或腳座，使桌子達到 0.5 mm/m 的水平度，從角落向中心進行。 檢查點：精度水平顯示偏差小於半個氣泡。
- 光學校準： 使用工作台上的孔洞格柵安裝並校準光學元件，先以手指旋緊螺絲。 檢查點：光束在平台整個行程中保持居中。
- 隔離器調校： 設定空氣壓力或主動隔離參數，使桌面在輕微推動後恢復水平。 檢查點：桌面在數秒內穩定，無振盪。
- 穩定性驗證： 使用干涉儀測量 5–10 分鐘內的條紋漂移；在 24 小時後重複。 檢查點：對於大多數應用，漂移小於每分鐘一條條紋。
產品資訊
- 1.064 µm Verifire 干涉儀，配備 6 英吋孔徑: 1.064 µm Verifire 干涉儀，配備 6 英吋孔徑、編碼變焦與對焦，SKU SSR VF-1064-6-1。提供穩定、高解析度的量測參考，用於驗證平台隔離效能。
- Zegage ProHR: Zegage ProHR 包含一個電動 XYZ 載物台（100 × 100 mm）、手動傾斜/俯仰（±4°）、10x 和 50x 物鏡，以及一個配備 Win 11 和 Mx 軟體的新型系統控制器。其電動載物台和傾斜/俯仰功能簡化了隔離台上樣品的精細對準。
- 88 nm 階梯標準，附 ZYGO 認證: 88 nm 階梯標準，附 ZYGO 認證，SKU 6300-0917-01，來自 ISO 17025 認證實驗室。可作為參考標準件，用於安裝和對準後檢查系統校準。
